在真空系統(tǒng)裝配中，柔性真空管路接頭用來(lái)適應(yīng)熱膨脹或位置調(diào)整(零件之間需要有相對(duì)移動(dòng))，或者需要隔離振動(dòng)以及強(qiáng)度弱的零件免受應(yīng)力損傷等。

    超高真空系統(tǒng)的前級(jí)低真空，可采用真空橡膠管、塑料管等柔形管路，管路壁厚要能承受大氣壓力，薄壁管要在管內(nèi)設(shè)加強(qiáng)件(如鋼絲彈簧)。這種軟管常用在前級(jí)粗抽系統(tǒng)，用以隔離機(jī)械真空泵的振動(dòng)。

    超高真空系統(tǒng)的活動(dòng)部件，如閥門(mén)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)，通常使用銅、不銹鋼、鎳鉻鐵合金等材料制成的金屬波紋管。典型的軋制或液壓成型的金屬波紋管如圖所示。

    A型、B型、C型為兩端開(kāi)口的波紋管；AD型和BD型為一端封閉一端開(kāi)口的波紋管。這種類(lèi)型的金屬波紋管，其單位長(zhǎng)度的波節(jié)和每個(gè)波節(jié)的位移量較少，每根波紋管的長(zhǎng)度也受到加工設(shè)備的限制。

    另一類(lèi)的波紋管是焊接波紋管，焊接波紋管單位長(zhǎng)度的波節(jié)和每個(gè)波節(jié)的位移量較大，但造價(jià)較高，內(nèi)壁不容易清洗，只能靠烘烤清洗。

    金屬波紋管的壁很薄，焊接部位需將厚法蘭的焊接處加工成與波紋管相同的薄壁，否則容易焊穿薄壁波紋管。焊縫盡可能處在真空內(nèi)側(cè)，避免形成不利于抽真空的“死空間”。為了增加焊縫強(qiáng)度，外側(cè)可以采用斷續(xù)焊接進(jìn)行定位和加固。

    波紋管用于真空管路時(shí)大氣壓可使波紋管縮短，這就要求連接系統(tǒng)的兩端有足夠的機(jī)械支撐強(qiáng)度，或用支撐桿加以固定，限制大氣壓力壓縮波紋管的伸縮量。

    波紋管是真空系統(tǒng)中最容易損壞的元件，注意不能讓它承受過(guò)大的應(yīng)力，否則會(huì)影響它的使用壽命。波紋管不宜使用強(qiáng)腐蝕劑進(jìn)行清洗，并且容易碰傷，應(yīng)注意保護(hù)。

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