由于各種污染可以使電真空器件變質，影響使用壽命和可靠性，因而電真空工藝具有特殊性。一般而言，電真空器件所用的金屬材料或零件在經過機械加工后都要進行去油。利用堿性溶液和有機溶劑都可以去除金屬表面的油脂和其它臟物。在去油之后，如果金屬表面還留有氧化物，則一般還要用酸洗來浸蝕金屬。酸洗以后，要用氨水中和，或在沸水中煮否則金屬容易重新生銹。最好的清洗方法是，零件經過化學處理后，再進行燒氫處理，除去殘留在表面上的雜質或氧化物，驅走大部分金屬吸附的氣體。最后一次沖洗用蒸餾水或去離子水。因為水不干凈，雜質還會污染材料。最后需注意的是，裝入真空系統或器件的材料，最好是剛剛經過清潔處理的。如果要貯存一段時間，則必須用無纖維的清潔紙或鋁箔包扎，然后放入干燥器或真空貯存柜內，以免材料表面重新污臟或氧化。

    為了保證清潔工作的成功，除了盛裝器件的容器要非常干凈外，持取和揩擦的工具也是值得注意的。赤裸的手是非常可怕的，它會帶來有機油脂和其它臟物，而使任何嚴格去污的結果歸于失敗。因此在一般情況下要用不銹鋼的小鑷子(可以避免在空氣中生銹，也抵抗了酸堿的浸蝕)鉗取物品。用以拭揩器件外部的材料一般用脫脂棉，但在拭描內部或表面比較粗糙的物體時，則用干凈的白綢，以避免殘留纖維。絲織手套或棉紗手套會很快吸足汗液而滲透出汗液來，橡皮手套含有硫而且套卸不便，白色的塑膠手套比較好，但在使用氰化物溶液時則必須帶橡皮手套。即使在一般場合下口罩也是很必要的，口罩帶用橡筋帶比紗帶更合適。

    經過清潔處理的干燥材料，要用不易掉落纖維的半透明紙或鋁箔包扎然后放人真空柜或干燥器內保存。

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