產品介紹

FV50D XL 擴散器是通過小化負載鎖定排氣周期時間來可靠地增加系統吞吐量的選擇。 這款二代擴散器可以承受更高的工作壓力 (60 psig)，額定循環次數為 100 萬次，從而大大提高了性能并降低了擁有成本。 我們的 Chambergard系列產品可快速排放到大氣中，而不會干擾腔室中的晶圓或向晶圓添加顆粒。 它們將擴散器的流動特性與過濾器相結合，以提高吞吐量。 憑借我們的全球基礎設施，我們可以提供 Chambergard 快速排氣擴散器，以滿足您在全球范圍內的需求。

性能特點

額定循環次數為 1,000,000 次，設計用于在更高的入口壓力下運行

緊湊型擴散器單元中的燒結鎳技術可在所有應用中提供良好的性能

從進入的氣體中去除大于 0.0015 μm 的顆粒，大限度地減少晶圓缺陷

易于安裝/改裝到現有工具中，大限度地減少停機時間

技術參數

詳細參數

產品應用