產品介紹

InVue GV148 液體濃度監測器可在不干擾或中斷過程的情況下，為化學品混合、加標和稀釋提供實時過程流體濃度測量。GV148 液體濃度監測儀集成在一個緊湊的高的純度封裝中，可提供經濟的高性能濃度監測，從而提高生產線前端 (FEOL)、生產線后端 (BEOL) 的工藝效率 ) 和子晶圓廠交付化學系統。 這種增加的過程可見性導致更嚴格的過程控制、更高的晶片產量、減少的化學品使用和減少的廢料。GV148 監測儀采用經過驗證的折射率技術，封裝在緊湊的配置中，可提供準確和可重復的液體濃度測量方法。 在線傳感器可準確測量過程流體的折射率 (IoR) 和溫度。 然后使用該信息來計算過程流體濃度。

性能特點

使用反射指數測量 CMP 漿料和非導電流體

帶有集成電子元件的小尺寸可大程度地減小工具尺寸

HMI 軟件支持實時數據記錄、分析和定制

窗戶清潔端口可輕松訪問藍寶石窗戶進行清潔

技術參數

詳細參數

產品應用