產品介紹

VaporSorb系列混合化學空氣過濾器旨在為 22 納米以下節點的先進半導體制造環境提供保護。 Entegris VaporSorb 過濾器有助于降低高流量設施應用中不需要的空氣分子污染 (AMC) 水平。 Entegris VaporSorb FAC 過濾器可針對任何類型的空氣處理裝置安裝進行配置，并且特別適合補充空氣 (MUA) 和回風處理 (RAH) 應用。 Entegris VaporSorb FAC 過濾器使用我們廣泛的潔凈室環境水平數據庫設計，以提供大的效率和污染物去除。

性能特點

提供保護，防止強酸和弱酸以及有機物和堿（如氨），減少晶圓缺陷，提高產量并延長設備正常運行時間

具有優化的吸附劑混合物的特定應用過濾器針對并去除每個工藝工具關注的污染物，大限度地減少介質浪費并延長使用壽命

任何 FFU、工具內、設備工廠接口或過程模塊安裝的靈活配置簡化了安裝和集成

Entegris 擁有的過濾器制造為特定于晶圓廠的優化介質提供快速周轉

技術參數

詳細參數

產品應用