產品介紹

Entegris E2600 過濾器外殼用于化學凈化光刻曝光工具中使用的環境空氣。 E2600 過濾系統可保護曝光工具免受各種空氣分子污染物的影響。 E2600 過濾器外殼設計用于與 Entegris 化學空氣過濾器一起使用，以保護曝光工具中的化學放大抗蝕劑和暴露的光學表面。當配備 Entegris 混合介質化學空氣過濾器時，E2600 過濾器外殼可提供先進的保護，防止空氣中的分子酸、堿和可冷凝有機化合物。在 E2600 內部，專門的化學過濾器以多級串聯配置排列，以提供保護，防止嚴重的污染事件，例如溶劑和顯影劑化學品的意外溢出。

性能特點

去除酸、堿和可冷凝的有機物

內部 HEPA 過濾器確保顆粒控制

用于性能監控的堆棧間示例端口

占地面積小，節省潔凈室空間

剛性結構確保可靠、無故障運行

雙入口和出口過渡，用于簡單、硬或靈活的管道連接

技術參數

詳細參數

產品應用