橡膠密封的主要缺點(diǎn)是不耐烘烤，并且在室溫下產(chǎn)生較大的放氣量，影響真空獲得。

    用耐高溫的氟橡膠或氟塑料，但它們的烘烤溫度也不超過(guò)150~200℃，否則要采用水冷裝置，同時(shí)它們的放氣量也大于金屬密封圈，而且還含有碳?xì)浠衔锓肿印Ｒ虼水?dāng)真空系統(tǒng)要求烘烤溫度大于200℃時(shí)，或只允許使用低蒸汽壓(室溫時(shí)小于1.33×10^-2Pa)的密封材料時(shí)，不能使用橡膠密封，而需要采用金屬密封材料。

    金屬密封的主要優(yōu)缺點(diǎn)有：

    (1)放氣量遠(yuǎn)比橡膠少。

    (2)金屬密封系統(tǒng)和裝置可以在高溫下烘烤去氣，因此可以滿足超高真空的要求。

    (3)金屬密封材料彈性差，需要很大的密封力才能保證可靠的真空密封。

    (4)金屬密封材料重復(fù)使用性差，有些金屬密封圈只能使用一次。

    (5)金屬密封法蘭的密封面和刀口必須有較高的光潔度和精度，很小的刀痕都會(huì)破壞密封性能。

    (6)金屬密封材料和法蘭材料的熱膨脹系數(shù)相差較大，加熱不均勻或密封結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)不合理，都會(huì)引起局部變形而造成漏氣。

(慧樸科技，huiputech)