真空冶煉設備按照所熔煉的金屬材料種類可分為有色金屬真空冶煉設備和黑色金屬真空冶煉設備。真空蒸餾只能用于有色金屬熔煉，真空電子束熔煉既可以用作有色金屬熔煉，也可以用于黑色金屬熔煉。

    根據加熱熱源的不同，真空冶煉設備可以分為以下幾種。

    (1)電阻加熱

    在真空條件下，加熱器通電產生的電阻熱使金屬材料熔化，或電阻元件產生的電阻熱通過輻射將金屬材料加熱。真空電渣爐即為前者，而真空熱處理爐則為后者。

    (2)感應加熱

    在真空條件下，將金屬材料放入感應線圈中，當給線圈通入交變電流時，就會產生交變磁場，在金屬材料表面上產生感應電流，感應電流的流動產生電阻熱而將金屬材料熔化。利用這種方法加熱的真空冶煉設備稱為真空感應爐。

    (3)電弧加熱

    在真空條件下，利用弧光放電所產生的電弧熱熔煉金屬材料。通常將被熔煉的金屬材料(自耗電極)接負極，水冷銅坩堝接正極，通電時兩極間產生弧光放電，正離子打在陰板上，電子打在陽板上，于是電能轉變成熱能，產生高溫，將金屬材料熔化。利用這種方法加熱的真空冶煉設備稱為真空電弧爐，因為陰板為被熔煉的金屬材料，故又稱為真空自耗爐。

    (4)電子束加熱

    在真空條件下，應用電子槍在高壓電場的作用下，發射出高速度電子束，電子束聚焦能量打在被熔煉的金屬材料上，將電能轉換成熱能，使金屬材料熔化。這種通過電子來加熱的真空冶金設備稱為真空電子束爐，也有人稱其為電子轟擊爐。

    (5)無熱源加熱

    由平爐、轉爐、電弧爐熔煉的鋼液，因在生產過程中吸入了氧、氮、氫等氣體，在鋼材內部和表面會形成各種缺陷，為減少這些缺陷，通常采用真空二次精煉，通過低壓處理，除掉鋼液中的氣體。在此過程中并無熱源加熱，也能實現真空冶煉。因此，也有人稱其為鋼液真空處理。

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