真空冶煉設(shè)備按照所熔煉的金屬材料種類可分為有色金屬真空冶煉設(shè)備和黑色金屬真空冶煉設(shè)備。真空蒸餾只能用于有色金屬熔煉，真空電子束熔煉既可以用作有色金屬熔煉，也可以用于黑色金屬熔煉。

    根據(jù)加熱熱源的不同，真空冶煉設(shè)備可以分為以下幾種。

    (1)電阻加熱

    在真空條件下，加熱器通電產(chǎn)生的電阻熱使金屬材料熔化，或電阻元件產(chǎn)生的電阻熱通過(guò)輻射將金屬材料加熱。真空電渣爐即為前者，而真空熱處理爐則為后者。

    (2)感應(yīng)加熱

    在真空條件下，將金屬材料放入感應(yīng)線圈中，當(dāng)給線圈通入交變電流時(shí)，就會(huì)產(chǎn)生交變磁場(chǎng)，在金屬材料表面上產(chǎn)生感應(yīng)電流，感應(yīng)電流的流動(dòng)產(chǎn)生電阻熱而將金屬材料熔化。利用這種方法加熱的真空冶煉設(shè)備稱為真空感應(yīng)爐。

    (3)電弧加熱

    在真空條件下，利用弧光放電所產(chǎn)生的電弧熱熔煉金屬材料。通常將被熔煉的金屬材料(自耗電極)接負(fù)極，水冷銅坩堝接正極，通電時(shí)兩極間產(chǎn)生弧光放電，正離子打在陰板上，電子打在陽(yáng)板上，于是電能轉(zhuǎn)變成熱能，產(chǎn)生高溫，將金屬材料熔化。利用這種方法加熱的真空冶煉設(shè)備稱為真空電弧爐，因?yàn)殛幇鍨楸蝗蹮挼慕饘俨牧?，故又稱為真空自耗爐。

    (4)電子束加熱

    在真空條件下，應(yīng)用電子槍在高壓電場(chǎng)的作用下，發(fā)射出高速度電子束，電子束聚焦能量打在被熔煉的金屬材料上，將電能轉(zhuǎn)換成熱能，使金屬材料熔化。這種通過(guò)電子來(lái)加熱的真空冶金設(shè)備稱為真空電子束爐，也有人稱其為電子轟擊爐。

    (5)無(wú)熱源加熱

    由平爐、轉(zhuǎn)爐、電弧爐熔煉的鋼液，因在生產(chǎn)過(guò)程中吸入了氧、氮、氫等氣體，在鋼材內(nèi)部和表面會(huì)形成各種缺陷，為減少這些缺陷，通常采用真空二次精煉，通過(guò)低壓處理，除掉鋼液中的氣體。在此過(guò)程中并無(wú)熱源加熱，也能實(shí)現(xiàn)真空冶煉。因此，也有人稱其為鋼液真空處理。

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