位于泵進氣口處未能烘烤的部位是影響獲得超高真空的重要因素，系統不能烘烤的部位面積與采用的真空泵類型有關，離子泵(卸掉磁鐵)和分子篩泵可以整體烘烤，渦輪分子泵和制冷機低溫泵能夠局部烘烤100℃，擴散泵則完全不能烘烤。

    烘烤曲線表明開始加熱后系統壓力隨加熱溫度上升急劇增加，到達最高烘烤溫度時壓力也升到最大值，在隨后維持烘烤溫度不變的期間，壓力隨抽氣時間緩慢下降，停止加熱后壓力則迅速下降，其拐點處出現在室溫下，此后是常溫下系統壓力隨抽氣時間下降的曲線。

    超高真空系統進行烘烤除氣時，烘烤溫度的均勻性比烘烤溫度高低更為重要，復雜的金屬系統要做到各部分的烘烤溫度均勻并不是一件很容易的事。各部分材質的質量大小不同，各種材料的熱容、熱導率的方向性的差異以及距加熱體的遠近等，都會影響加熱的均勻度。

    所以，要獲得較均勻的烘烤溫度，采用烘烤爐將真空容器整個罩住，比采用纏繞加熱絲的方法好，特別是大質量的金屬法蘭，難以靠熱傳導同步加熱，只有靠熱輻射緩慢升溫，而輻射熱是加熱體溫度4次方函數關系，所以盡量采用較高的加熱溫度和充分長的加熱時間是十分必要的。

    盡管如此，要達到系統均勻升溫，對大型超高真空系統的厚法蘭還應當采用輔助加熱片進行加熱，輔助加熱片的功率可根據材料的熱容量進行計算，要獲得最佳效果，應通過實驗確定。

(慧樸科技，huiputech)