①超高真空油擴散泵不能在大氣壓下工作，需要用粗抽泵將真空容器的大氣抽至啟動壓力以下。油擴散泵配置的前級泵，在較低的前級壓力下其排氣量應(yīng)大于擴散泵的最大排氣量，用以減少反擴散的概率。

    ②運轉(zhuǎn)油擴散泵一定要避免處于高溫下的泵油與大氣接否則會發(fā)生泵油的裂解、氧化，污染整個真空系統(tǒng)的重大事故。

    ③在整個運轉(zhuǎn)期間，必須注意泵的加熱功率和冷卻水溫，一旦發(fā)現(xiàn)出水口水溫過高，應(yīng)立即重新調(diào)節(jié)冷卻水流量。若遇停水，則應(yīng)立即切斷加熱電源，并將加熱電爐移開后用風(fēng)扇冷卻泵體。關(guān)閉加熱電源停止運轉(zhuǎn)擴散泵后，一般需要繼續(xù)用前級泵抽氣，直到泵油鍋冷卻到安全溫度，才能停止抽氣和關(guān)閉冷卻水。

    ④帶液氮冷阱的擴散泵超高真空系統(tǒng)烘烤后，應(yīng)當(dāng)在冷阱完全冷到室溫后加注液氮。加注前，要把液氮膽內(nèi)的所有水和蒸氣用熱風(fēng)吹干，避免水凍結(jié)在冷阱內(nèi)。加注液氮時，最好先將少量液氮加入阱的底部，等到系統(tǒng)的可凝物(水有機溶劑、二氧化碳等)捕集在阱的下部真空度達到高真空后，再逐步加滿液氮。

    ⑤工藝周期要求長時間運轉(zhuǎn)的擴散泵系統(tǒng)，最好配備自動控制裝置，自動控制的主要內(nèi)容有：

    a.粗抽泵抽氣達到給定的壓力時，能自動啟動擴散泵；

    b.系統(tǒng)內(nèi)壓力突然升高到最大允許值時，自動關(guān)閉高真空閥，切斷擴散泵加熱電源并報警；

    c.冷卻水溫過高或中斷時，自動切斷加熱電源并報警；

    d.控制兩只并聯(lián)的前級泵自動轉(zhuǎn)換成間斷工作，確保前級泵不過熱。

    ⑥需要打開容器換取工件時，最好通入干燥熱氮氣，再次抽氣時可降低容器內(nèi)材料的出氣速率。

(慧樸科技，huiputech)