超高真空系統用部件的真空性能的最重要指標是材料的出氣速率。

    幾乎所有曾暴露在大氣環境中的材料表面都吸附了一層或多層氣體分子。實驗證明特別是像水這種極化分子，其凝結厚度可達數百個分子層。1cm²表面上吸附一個單分子層，大約有5×10¹⁴個分子，室溫下這些分子在1cm³體積內可形成約為1Pa的壓力。

    真空中吸附氣體的脫附(出氣)速率與空間氣體壓力、器壁溫度有關，不斷脫附的表面又不斷被空間的氣體分子污染，因此脫附速率隨抽氣時間呈指數率減，如果最初抽氣時每秒只有0.1%~0.01%的表面分子脫附到空間，不難理解抽氣曲線在10^-3Pa以后開始減慢下來的原因。

    烘烤是降低材料的出氣速率的主要手段，所以選用超高真空部件的材料必須能承受高溫烘烤，用以滿足超高真空系統對出氣速率的要求。

    其次是部件所用材料的飽和蒸氣壓要低，通常用于高真空的密封材料例如普通橡膠、密封油脂以及鋅及黃銅等金屬材料都不適用于超高真空。

    超高真空系統部件的另一個重要真空指標是氣密性。部件的漏氣速率(簡稱漏率)和出氣速率最大的不同是漏氣速率是恒定氣源，與抽氣時間無關。而出氣速率則隨抽氣時間逐漸衰減。

    漏氣速率是影響獲得超高真空的重要因素，應使漏氣所形成的平衡壓力遠小于材料出氣的平衡壓力，對于動態超高真空系統，系統總漏氣速率通常控制在烘烤后空載真空室內所有材料漏氣速率的1/10~1/100，對活動部件(法蘭或閥門)的漏氣速率要求在反復拆卸(或長期工作)后其密封部位仍能保持可靠的密封，這一點目前仍然是難以做到。

（慧樸科技，huiputech）