設計金屬法蘭的基本要求是：

    ①要求能提供性能良好的氣密界面，通?？扛邚姸冉饘贁D壓軟金屬形成可靠的氣密；

    ②能滿足法蘭連接的機械強度和密封壓力，并在后續(xù)的操作和烘烤中也能保持合適的密封壓力。

    此外，還要考慮法蘭裝配定位法蘭平面密封或凹槽密封在裝配時表面的保護以及大氣環(huán)境下的耐烘烤、耐腐蝕問題。

    目前，大都采用不銹鋼和軟金屬(銅、鋁、鎳、金等)墊片組成金屬連接法蘭，它在烘烤出氣時，溫度對材料的蠕變性能在設計工作中應引起足夠的注意。例如銅在300~400℃溫度下可產生明顯的蠕變，鋁的蠕變溫度較低，銦在室溫下就會發(fā)生蠕變。蠕變在反復烘烤后的冷卻階段，最容易產生漏氣。

    克服蠕變的方法是設計的金屬法蘭結構在烘烤后要有足夠的回彈力，這樣即使高溫下產生蠕變，在結束烘烤回到室溫后，不銹鋼法蘭仍有足夠的密封力，確保氣密性。此外，還應當注意高溫引起的其他問題，如銦在足夠高的溫度下會腐蝕不銹鋼，超高真空清潔的金屬表面，在高溫高壓下可產生相互擴散焊帶來的麻煩等。

（慧樸科技，huiputech）