在真空密封中，發生漏氣除材料本身、焊接(經檢漏可以處理)之外，主要是金屬面與密封墊之間的漏氣，由于密封壓緊不夠，法蘭表面粗糙度不恰當、管道熱變形、機械變形以及振動等都會引起密封墊與法蘭面之間發生漏氣。此外，法蘭連接后，由于螺栓變形、伸長以及密封墊長期使用后塑性變形、回彈力(也稱恢復力)下降、密封材料老化、龜裂、變質等因素也會引起漏氣。

    在真空密封中O形密封圈具有良好的密封性，它是一種壓縮性密封件，同時也具有自封能力，所以它是用途很廣泛的密封材料。在超高真空技術中經常使用金屬密封結構，如用軟金屬(金、銀、鉛)系，或CF法蘭用的無氧銅墊等，此外聚四氟乙烯O形圈的應用解決了橡膠圈不能使用的介質(如強酸、強堿、有機溶劑和腐蝕性氣體等)。同時，也可用于高溫和高真空中。

    在低真空領域，真空引起的問題并不突出，橡膠、聚四氟乙烯材料均可滿足使用要求。

    在中真空領域，應考慮密封材料的滲透問題，一般選用致密性好、透氣性小的橡膠墊。當介質有腐蝕性時，用聚四氟乙烯密封墊。橡膠、聚四氟乙烯等高分子材料中的雜質和配料在真空中揮發，主要是壓力下降后分子擴散所引起的，而這種擴散又與溫度密封相關，溫度越高，擴散速度越大。

    衛星、飛船在高真空太空中運行，而且受到宇宙射線的強烈輻射，使用聚四氟乙烯密封墊是比較好的。因為聚四氟乙烯材料在高真空下放氣量很小，經光譜分析證明，聚四氟乙烯在真空下放出的氣體是水蒸氣、二氧化碳、氧和氮等，這些氣體都是它在常溫下從大氣中吸附的，在高真空中釋放出來，所以，一般為了保持高真空，必須先對聚四氟乙烯墊進行預處理后再用。

    對于采用橡膠材料作為密封時，除了考慮透氣性外，也有吸附分子的擴散問題。為了排除材料在大氣中的吸附氣體，一般都把密封墊連同真空容器一起加熱到250-450℃下進行烘烤處理。在幾種橡膠墊材料中只有氟橡膠墊材料才能作這種烘烤處理。在烘烤處理時，要考慮對密封墊部位進行通水冷卻處理。如果要避免這樣處理的麻煩，最好使用金屬密封墊材料或其他結構的密封材料作為密封墊。

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