玻璃材料內部氣體的來源主要有以下部分：玻璃表面吸附的氣體（主要是水蒸氣和二氧化碳)；玻璃在長期存放中所吸附的水分，在玻璃內堿性硅酸鹽水解的基礎上進行復雜的化學反應，當玻殼被抽真空或加熱去氣時，這些化學反應的產物是氣體來源之一；

    玻璃在熔制過程中，熔融的玻璃與周圍的氣體相互作用而溶解、殘留在玻璃內部的氣體(主要是一氧化碳、氮氣和氧氣)。因此，未經去氣的玻璃在真空下工作時，特別是在升溫時要放出大量氣體。

    溫度上升，首先放出的是吸附在玻璃表面的水蒸氣和二氧化碳，出氣量隨溫度升高而增加，出氣量達最大值；隨后，因玻璃表面水蒸氣和二氧化碳吸附層的減少使出氣量下降，當升溫高于450℃時，玻璃表面吸附的氣體基本放出，出氣量降至最小。

    如果繼續升高溫度，則溶解在玻璃內部的氣體不斷放出，以及玻璃在高溫下會分解產生氣體，使出氣量又繼續上升。

    因此，用作電真空器件中的玻璃零件必須預先或在器件生成過程中進行去氣。對于封閉的電真空器件，長期工作時還必須考慮玻璃滲氦對器件的影響。

（慧樸科技，huiputech）