真空法蘭連接屬于非永久密封連接，其特點是經過多次拆裝仍能保持密封性能，而且可以更換已經老化或損壞的密封器件。真空系統中常用的法蘭有橡膠圈密封法蘭和金屬墊圈密封法蘭。

    1 KF（NW）法蘭

    小口徑管路用橡膠圈密封真空法蘭，被稱為KF（或NW）法蘭，廣泛用于低、中和高真空系統中。其特點是可多次重復使用、操作簡單、經濟實惠。但是KF法蘭有兩個大的問題點：一個是在設備烘烤時耐熱程度有限，另一個是氫氣、氦氣的透氣問題。

    使用KF法蘭時，兩個KF法蘭中間安裝有外套O型橡膠圈的中心支架，外側通過卡箍可簡單實現快速的安裝和拆卸。使用氟橡膠圈的時候，烘烤溫度一般可達150℃。

    2 ISO法蘭是口徑范圍大的O型橡膠圈密封真空法蘭。

    3 CF法蘭的內側有凸起的鋒利刀口，通過擠壓無氧銅墊圈（或其他軟金屬）使其變形而達到密封真空的目的，是全金屬材料的密封方式，被廣泛應用于超高真空環境中。CF法蘭也常用ICF法蘭來表示，CF后面的數字是標準的導管內徑，而ICF后面的數字是法蘭的外徑。

    CF法蘭分為固定型和松套型兩種。固定型法蘭為一體化結構。松套型法蘭由擠壓銅墊圈的刀口部分和通過螺栓的固定部分構成。法蘭上可開通孔或螺紋孔。開有通孔的法蘭要通過螺栓和螺母固定，開有螺紋孔的法蘭可直接使用螺栓固定。法蘭的材質主要為SUS304或SUS304L，因為SUS304放出氣體少，加工和焊接比較容易。

    CF法蘭的特點是不分雌雄，包括無氧銅墊圈在內全部由金屬構成，因此可以承受高溫（250℃以上）烘烤。其缺點是價格高，無氧銅墊圈不能多次重復使用。

    CF法蘭的安裝要求較高。因為無氧銅墊圈被擠壓后會變形，所以用均等力量扭緊螺栓非常重要。如果螺栓用力不均勻，會使對角位置的法蘭翹起，以至于漏氣。扭緊螺栓的力矩大約如下：M4螺栓20kgf*cm，M6螺栓70kgf*cm，M8螺栓100kgf*cm。

    CF法蘭使用時有幾個注意點：螺栓一定要涂抹MoS2，以免螺栓和螺母咬合卡死，法蘭外周要對齊，法蘭面要保持一點距離，為烘烤后繼續上緊螺栓留出空間。

    CF法蘭中，刀口要切入金屬密封圈來實現真空密封。長期使用，刀口會逐漸變鈍。另外，受硬器碰撞后刀口容易受傷。這時的補救措施之一，是使用IPD金屬密封圈。IPD金屬密封圈不依靠法蘭的刀口，而依靠刀口外周的斜面來密封。

(慧樸科技，huiputech)