半導體集成電路從誕生到現在才二十余年的歷史。二十余年來，集成電路持續高速的發展在人類科學技術發展史上足空前蛔。在—塊硅片上器件集成的密度基本上是以每年翻一番的速率增長，使集成電路經歷了小規模集成電路，中規模集成電路和大規模集成電路的發展階段，目前發展到超大規模階段并正向著甚大規模集成電路的方向發展。大規模集成電路的發展和成熟，提供了大量價格便宜、使用方便的微處理器電路和存儲器電路。用它們構成的微型計算機系統的功能。已經超過十幾年前的“大型”電子管或晶體管計算機的水平，而價格卻已下降到一般家庭都能負擔得起的程度。這一發展現實，在八十年代引起了一場計算機應用革命，它表現在：計算機在企業管理、辦公室的信息和文字處理、信息交換等方面的普及應用，它也表現在：計算機系統在軍事技術、工業自功化、機器人技術、傳感器技術自動測量和過程控制等方面的廣泛用。

　　大規模集成電路的發展，無論是大規模集成電路本身的技術進步還是由它引起的計算機應用革命，都對傳感器的發展起了巨大的促進作用，這主要表現在以下幾個方面：功能強而價格低的計算機系統在各方面的廣泛使用，特別在工業自動控制、機器人技術和自動撿測等方面的應用，要求有大量精度高、尺寸小和價格便宜的傳感器與之相適應。另外，在這些應用中，計算機往往要直接接收從傳感器輸出的信號，這就要求傳感器的輸出直接是電學量。原來占主導地位的結構型傳感器就顯得不能適應，促使了傳感器向固體化、半導體化和集成化方向的發展。

　　 集成電路的發展為創造傳感器提供了許多成熟的材料。特別是半導體硅材料已能較自由地為人們所利用，它有許多適宜制造傳感器的性質，并制成了實用的傳感器。利用硅材料制作的半導體傳感器，除了具有固體傳感器的一般優點外，它還可以把一些集成電路與傳感器制作在一起，構成所謂的傳感器集成電路，或簡稱為集成傳感器。除了硅之外，半導體也是制作傳感器很有發展前額材料。

　　由上述幾點可見，集成電路的大規模化不僅對傳感器提出了集成化的要求，也為傳感器的集成化提供了應用基礎和技術基礎。反之，集成傳感器的發展使大規模集成電路能更好地發揮出它的超越他，因而也促進了大規模集成電路的發展。