引言

　　高量程微機械壓阻式加速度傳感器在沖擊測試、軍用引信中運用相當廣泛。可靠性研究是微電子機械系統 MEMS產業化的關鍵，對于微加速度傳感器更是如此。由于應用環境的特殊性，高量程微加速度傳感器必須具有極高的抗過載能力。目前，國內研究MEMS器件抗過載能力主要停留在計算機模擬和實驗測試。考慮到測試實驗無法充分測試傳感器在特殊環境下的性能，對該高量程加速度傳感器在侵徹環境中進行試驗驗證，分別對混凝土靶及鋼靶進行實彈侵徹，對比分析該傳感器在真實沖擊環境下的數據和抗過載能力，從而獲取可靠數據，為深入研究彈體侵徹過載特性提供依據。

　　2 微加速度傳感器結構及封裝

　　圖1是高量程加速度傳感器模型截面圖，150 000 g為量程，一階固有頻率達300 kHz。梁寬和質量塊一致，壓阻對稱放置于4梁根部，抑制了非對稱性結構引起的橫向加速度的影響。整體為“田”字形結構，單晶硅材料。中心的活動質量塊由十字梁懸浮連接到邊框上。邊框作為錨區鍵合在玻璃基底上。

　　3 實彈侵徹測試實驗

　　實驗用921A型鋼靶，其靶板厚26 mm，炮彈出膛速度為420 m／s。鋼筋混凝土靶體積為(2×2×1．5)m3，出膛速度為895 m／s。每發炮彈內安裝有2個傳感器，一個為988傳感器，其靈敏度為0．341 pc／g；一個為帶測試傳感器。系統采樣率為200 kHz。利用130 mm口徑滑膛炮發射烯卵形頭部彈體，分別對鋼靶和鋼筋混凝土靶進行垂直侵徹，如圖2所示。

　　圖3a是侵徹鋼靶觸靶過載曲線圖，兩條虛線對應炮彈觸靶后有效過載(T=330μs)曲線，觸靶過載最小值為-106 391．2 g(t=065ms)，觸靶過載最大值為25*6．5 g(t=0．270ms)。圖3b為侵徹鋼筋混凝土靶觸靶過載曲線圖，兩條虛線對應炮彈觸靶后有效過載(T=700μs)曲線。可看到，侵徹混凝土靶過程中，傳感器已損壞，記錄的傳感器數據值負向峰值為-130 000 g。

　　對濾波后的侵徹鋼靶過載波形進行一次和二次積分。得到彈體侵徹初速和位移(即侵徹深度)的時間曲線，分別如圖4a、b所示。為分析所測得數據的可靠性，對應比較侵徹過載積分得到彈體速度有效位移和鋼靶實測彈速度實測位移，并比較兩傳感器測得的加速度值，濾波頻率為50 kHz，分析結果見表1。

　　從表1看出，該傳感器在侵徹鋼靶實驗中，由所測過載波形一次積分所得的速度誤差為2．4％，二次積分所得位移誤差為9．1％，加速度值與988傳感器對比誤差為11．3％；具有良好的抗過載能力。實驗結果表明，在侵徹混凝土靶實驗過程中，傳感器出現梁斷裂現象。

　　4 結束語

　　研究高g值微加速度傳感器侵徹特性，對彈體的侵徹機理、武器戰斗部設計和遮彈技術等研究具有重要意義。該新型微加速度傳感器，在實彈侵徹實驗中獲得有價值數據：(1)該高量程傳感器在侵徹鋼靶實驗中可測得100 000 g以上的加速度值，誤差較小；(2)在侵徹鋼靶過程中，脈寬小，能量少，傳感器具有良好抗過載能力；在侵徹混凝土靶時，子彈初速度大，能量大，由于封裝原因，傳感器出現梁斷裂情況。(3)梁斷裂主要是由于封裝殼體在高過載情況下變形。所以，封裝方面需要進一步改進。