電容傳感器分類：電容傳感器

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電容傳感器
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本詞條由“科普中國(guó)”科學(xué)百科詞條編寫與應(yīng)用工作項(xiàng)目
審核
。
電容傳感器是指將被測(cè)量（如尺寸、壓力等）的變化轉(zhuǎn)換成電容量變化的一種傳感器。實(shí)際上，它本身（或和被測(cè)物體）就是一個(gè)可變電容器。
[1]
中文名
電容傳感器
外文名
Capacitive Transducer
實(shí)    質(zhì)
一類傳感器
特    點(diǎn)
結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單等
應(yīng)    用
測(cè)量金屬表面狀況等
學(xué)    科
電子工程
目錄
1
原理
2
特點(diǎn)
3
應(yīng)用
4
改善方法
電容傳感器原理
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語(yǔ)音
由物理學(xué)知識(shí)可知，在忽略邊緣效應(yīng)的情況下，平板電容器的電容量為
式中，
——真空的介電常數(shù)，
=
；ε——極板間介質(zhì)的相對(duì)介電系數(shù)，在空氣中，ε=1；A——極板的重合面積，m2；δ——兩平行極板間的距離，m。上式表明，當(dāng)被測(cè)量δ，A或ε發(fā)生變化時(shí)，都會(huì)引起電容的變化。如果保持其中的兩個(gè)參數(shù)不變，僅改變另一個(gè)參數(shù)，就可以把該參數(shù)的變化變換為單一電容量的變化，再通過(guò)配套的測(cè)量電路，將電容的變化轉(zhuǎn)換為電信號(hào)輸出。根據(jù)電容器參數(shù)變化的特性，電容式傳感器可分為極距變化型、面積變化型和介質(zhì)變化型三種，其中極距變化型和面積變化型的應(yīng)用較廣泛。
[1]
電容傳感器特點(diǎn)
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語(yǔ)音
電容傳感器有如下一些特點(diǎn)：①結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單；②動(dòng)作時(shí)需要能量低，由于帶電極板間靜電吸引力很小（約幾個(gè)
N），因此電容傳感器特別適宜用來(lái)解決輸入能量低的測(cè)量問(wèn)題；③動(dòng)態(tài)特性好，電容傳感器的相對(duì)變化量只受線性和其它實(shí)際條件的限制，如果使用高線性電路時(shí)，電容變化量可達(dá)100%或更大；④自然效應(yīng)小；⑤動(dòng)態(tài)響應(yīng)快以及能在惡劣的環(huán)境下工作。但由于電容傳感器的初始電容較小，受引線電容、寄生電容的干擾影響較大；另一方面電容傳感器輸出特性為非線性。
[2]
電容傳感器應(yīng)用
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語(yǔ)音
電容傳感器可以直接測(cè)量的非電量為：直線位移、角位移及介質(zhì)的幾何尺寸（或稱物位），直線位移及角位移可以是靜態(tài)的，也可以是動(dòng)態(tài)的，例如是直線振動(dòng)及角振動(dòng)。用于上述三類非電參數(shù)變換測(cè)量的變換器一般說(shuō)來(lái)原理比較簡(jiǎn)單，無(wú)需再作任何預(yù)變換。用來(lái)測(cè)量金屬表面狀況、距離尺寸、振幅等量的傳感器，往往采用單極式變間隙電容傳感器，使用時(shí)常將被測(cè)物作為傳感器的一個(gè)極板，而另一個(gè)電極板在傳感器內(nèi)。近年來(lái)已采用這種方法測(cè)量油膜等物質(zhì)的厚度。這類傳感器的動(dòng)態(tài)范圍均比較小，約為十分之幾毫米左右，而靈敏度則在很大程度上取決于選材、結(jié)構(gòu)的合理性及寄生參數(shù)影響的消除。精度達(dá)到0.1μm，分辨力為0.025μm。可以實(shí)現(xiàn)非接觸測(cè)量，它加給被測(cè)對(duì)象的力極小，可忽略不計(jì)。測(cè)物位的傳感器多數(shù)是采用電容式傳感器作轉(zhuǎn)換元件。電容式傳感器還可用于測(cè)量原油中含水量、糧食中的含水量等。當(dāng)電容傳感器用于測(cè)量其他物理量時(shí)，必須進(jìn)行預(yù)變換，將被測(cè)參數(shù)轉(zhuǎn)換成d，S或ε的變化。例如在測(cè)量壓力時(shí)，要用彈性元件先將壓力轉(zhuǎn)換成d的變化。
[3]
電容傳感器改善方法
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語(yǔ)音
為了提高電容傳感器的靈敏度、減小界干擾、寄生電容及漏電的影響和減小線性誤差，可采用以下措施：①由于當(dāng)d減小時(shí)可使電容量加大從而使靈敏度增加，但d過(guò)小容易引起電容器擊穿，一般可以在極板間放置云母片來(lái)改善；②提高電源頻率；③用雙層屏蔽線，將電路同電容傳感器裝在一個(gè)殼體中，可以減小寄生電容及外界干擾的影響。
[2]
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陣列式紅外傳感器和電容傳感器在脈搏檢測(cè)方面的應(yīng)用
最近我在和一個(gè)醫(yī)學(xué)院做科研合作，合作的是一個(gè)關(guān)于脈搏波檢測(cè)項(xiàng)目，對(duì)于這個(gè)項(xiàng)目我是非常感興趣的，也投入了一些精力做了幾種可行的方案，由于我對(duì)于紅外傳感器方面接觸的項(xiàng)目比較多，我更傾向于使用紅外陣列傳感器來(lái)實(shí)現(xiàn)脈搏的檢測(cè)。說(shuō)到紅外傳感器檢測(cè)脈搏波信號(hào)，也不是很高大上的技術(shù)，這個(gè)...
2020-07-250
響拇指電子
深圳響拇指電子科技有限公司
什么是電容傳感器？
什么是電容傳感器？電容傳感器是非接觸型傳感器，其根據(jù)在傳感器電極和GND或人手之間產(chǎn)生的電容變化來(lái)檢測(cè)物體。傳感器電極可以是任何導(dǎo)電金屬，因此可以設(shè)計(jì)低成本且高度靈活的系統(tǒng)。在了解電容式傳感器之前，首先要了解電容器。電容器是電子電路中常見(jiàn)的無(wú)源元件之一，是通過(guò)靜電電容來(lái)積蓄...
2019-08-230
參考資料
1.

張洪亭，王明贊編．測(cè)試技術(shù)基礎(chǔ)：東北大學(xué)出版社，2013.12
2.

李田澤主編．傳感器技術(shù)設(shè)計(jì)與應(yīng)用：海洋出版社，2015.05
3.

劉迎春，葉湘濱編著．傳感器原理  設(shè)計(jì)與應(yīng)用  第5版：國(guó)防工業(yè)出版社，2015.06

電容傳感器分類：電容式傳感器有幾種類型？

一、根據(jù)電容式傳感器的工作原理，分為三種類型：
1、變極板間距的變極距型
變極板間距型電容式傳感器的特點(diǎn)：電容量與極板間距成反比。主要用于測(cè)量位移量。
2、變極板覆蓋面積的變面積型
變極板覆蓋面積型電容傳感器的特點(diǎn)：電容量與面積改變量成正比。主要用于合測(cè)量線位移和角位移。
3、變介質(zhì)介電常數(shù)的變介質(zhì)型
變介襲質(zhì)型電容傳感器的特點(diǎn)：利用不同介質(zhì)的介電常數(shù)各不相同，通過(guò)改變介質(zhì)的介電常數(shù)實(shí)現(xiàn)對(duì)被測(cè)量的檢測(cè)， 并通過(guò)電容式傳感器的電容量的變化反映出來(lái)。
主要用于介質(zhì)的介電常數(shù)發(fā)生改變的場(chǎng)合。
二、按測(cè)量原理分類
根據(jù)測(cè)量原理不同，電容式傳感器分為變面積型傳感器、變極距型傳感器、變介質(zhì)型傳感器。
1、面積變化型一般用于測(cè)量角位zhidao移或較大的線位移。
2、極距變化型一般用來(lái)測(cè)量微小的極距變化。
3、介質(zhì)變化型常用于物位測(cè)量和各種介質(zhì)的溫度、密度、濕度的測(cè)定。
優(yōu)點(diǎn)
1、溫度穩(wěn)定性好
電容式傳感器的電容值一般與電極材料無(wú)關(guān)，這有利于選擇溫度系數(shù)低的材料，又因本身發(fā)熱極小，影響穩(wěn)定性甚微。而電阻傳感器有銅損，易發(fā)熱產(chǎn)生零漂。
2、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單
電容式傳感器結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，易于制造和保證高的精度，可以做得非常小巧，以實(shí)現(xiàn)某些特殊的測(cè)量；能工作在高溫，強(qiáng)輻射及強(qiáng)磁場(chǎng)等惡劣的環(huán)境中，可以承受很大的溫度變化，承受高壓力，高沖擊，過(guò)載等；能測(cè)量超高溫和低壓差，也能對(duì)帶磁工作進(jìn)行測(cè)量。
3、動(dòng)態(tài)響應(yīng)好
電容式傳感器由于帶電極板間的靜電引力很小(約幾個(gè)10^(-5)N)，需要的作用能量極小，又由于它的可動(dòng)部分可以做得很小很薄，即質(zhì)量很輕，因此其固有頻率很高，動(dòng)態(tài)響應(yīng)時(shí)間短，能在幾兆赫茲的頻率下工作，特別適用于動(dòng)態(tài)測(cè)量。
又由于其介質(zhì)損耗小可以用較高頻率供電，因此系統(tǒng)工作頻率高。它可用于測(cè)量高速變化的參數(shù)。
4、可以非接觸測(cè)量且靈敏度高
可非接觸測(cè)量回轉(zhuǎn)軸的振動(dòng)或偏心率、小型滾珠軸承的徑向間隙等。當(dāng)采用非接觸測(cè)量時(shí)，電容式傳感器具有平均效應(yīng)，可以減小工件表面粗糙度等對(duì)測(cè)量的影響。
電容式傳感器除了上述的優(yōu)點(diǎn)外，還因其帶電極板間的靜電引力很小，所需輸入力和輸入能量極小，因而可測(cè)極低的壓力、力和很小的加速度、位移等，可以做得很靈敏，分辨力高，能感應(yīng)0.01μm甚至更小的位移。
由于其空氣等介質(zhì)損耗小，采用差動(dòng)結(jié)構(gòu)并接成電橋式時(shí)產(chǎn)生的零殘極小，因此允許電路進(jìn)行高倍率放大，使儀器具有很高的靈敏度。

根據(jù)傳感器的工作原理可把電容式傳感器分為變極距型、變面積型和變介質(zhì)型三種類型。
根據(jù)傳感器的結(jié)構(gòu)可把電容式傳感器分為三種類型的結(jié)構(gòu)形式。它們又可按位移的形式分為線位移和角位移兩種，每一種又依據(jù)傳感器極板形狀分成平(圓形)板形和圓柱(圓筒)形，雖然還有球面形和鋸齒形等其他形狀，但一般很少用。其中差動(dòng)式一般優(yōu)于單組(單邊)式傳感器，它具有靈敏度高、線性范圍寬、穩(wěn)定性高等特點(diǎn)。
擴(kuò)展資料：
一、優(yōu)點(diǎn)
1、溫度穩(wěn)定性好
電容式傳感器的電容值一般與電極材料無(wú)關(guān)，這有利于選擇溫度系數(shù)低的材料，又因本身發(fā)熱極小，影響穩(wěn)定性甚微。而電阻傳感器有銅損，易發(fā)熱產(chǎn)生零漂。
2、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單
電容式傳感器結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，易于制造和保證高的精度，可以做得非常小巧，以實(shí)現(xiàn)某些特殊的測(cè)量；能工作在高溫，強(qiáng)輻射及強(qiáng)磁場(chǎng)等惡劣的環(huán)境中，可以承受很大的溫度變化，承受高壓力，高沖擊，過(guò)載等；能測(cè)量超高溫和低壓差，也能對(duì)帶磁工作進(jìn)行測(cè)量。
3、動(dòng)態(tài)響應(yīng)好
電容式傳感器由于帶電極板間的靜電引力很小(約幾個(gè)10^(-5)N)，需要的作用能量極小，又由于它的可動(dòng)部分可以做得很小很薄，即質(zhì)量很輕，因此其固有頻率很高，動(dòng)態(tài)響應(yīng)時(shí)間短，能在幾兆赫茲的頻率下工作，特別適用于動(dòng)態(tài)測(cè)量。又由于其介質(zhì)損耗小可以用較高頻率供電，因此系統(tǒng)工作頻率高。它可用于測(cè)量高速變化的參數(shù)。
二、相關(guān)應(yīng)用
電容式傳感器具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、耐高溫、耐輻射、分辨率高、動(dòng)態(tài)響應(yīng)特性好等優(yōu)點(diǎn)，廣泛用于壓力、位移、加速度、厚度、振動(dòng)、液位等測(cè)量中。但在使用中要注意以下幾個(gè)方面對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響：
①減小環(huán)境溫度、濕度變化(可能引起某些介質(zhì)的介電常數(shù)或極板的幾何尺寸、相對(duì)位置發(fā)生變化)。
②減小邊緣效應(yīng)。
③減少寄生電容。
④使用屏蔽電極并接地(對(duì)敏感電極的電場(chǎng)起保護(hù)作用，與外電場(chǎng)隔離)。
⑤注意漏電阻、激勵(lì)頻率和極板支架材料的絕緣性。
參考資料來(lái)源：百度百科－電容式傳感器

　　根據(jù)電容式傳感器的工作原理，可將其分為3種：變極板間距的變極距型、變極板覆蓋 面積的變面積型和變介質(zhì)介電常數(shù)的變介質(zhì)型。
　　變極板間距型電容式傳感器的特點(diǎn)是電容量與極板間距成反比，適合測(cè)量位移量。 變極板覆蓋面積型電容傳感器的特點(diǎn)是電容量與面積改變量成正比， 適合測(cè)量線位移和角位移。 變介質(zhì)型電容傳感器的特點(diǎn)是利用不同介質(zhì)的介電常數(shù)各不相同，通過(guò)改變介質(zhì)的介電常數(shù)實(shí)現(xiàn)對(duì)被測(cè)量的檢測(cè)， 并通過(guò)電容式傳感器的電容量的變化反映出來(lái)。 適合于介質(zhì)的介 電常數(shù)發(fā)生改變的場(chǎng)合。
　　根據(jù)測(cè)量原理不同，電容式傳感器可分為變面積型傳感器；變極距型傳感器；變介質(zhì)型傳感器。極距變化型一般用來(lái)測(cè)量微小的極距變化。面積變化型一般用于測(cè)量角位移或較大的線位移。介質(zhì)變化型常用于物位測(cè)量和各種介質(zhì)的溫度、密度、濕度的測(cè)定。

光敏式
壓力式
濕度式

電容傳感器分類：電容式傳感器的分類及原理

電容式傳感器的分類及原理
以電容器為敏感元件，將機(jī)械位移量轉(zhuǎn)換為電容量變化的傳感器稱為電容式傳感器。電容傳感器的形式很多，常使用變極距式電容傳感器和變面式電容傳感器進(jìn)行位移測(cè)量。
(1).變極距式電容傳感器
圖2是空氣介質(zhì)變極距式電容傳感器的工作原理圖。圖中一個(gè)電極板固定不變，稱為固定極板，另一極板間距離d響應(yīng)變化，從而引起電容量的變化。因此，只要測(cè)出電容量的變化量⊿C，便可測(cè)得極板間距變化量，即動(dòng)極板的位移量⊿d。
變極距電容傳感器的初始電容Co可由下式表達(dá)，即

式中：ε——真空介電常數(shù)（8.85×10-12F/m）
 A——極板面積（m2）
 do——極板間距初始距離（m）
傳感器的這種變化關(guān)系呈非線性，如圖3所示。
當(dāng)極板初始距離由do減少⊿d時(shí)，則電容量相應(yīng)增加⊿C，即

電容相對(duì)變化量⊿C/Co為

由于，在實(shí)際使用時(shí)常采用近似線性處理，即

此時(shí)產(chǎn)生的相對(duì)非線性誤差γo為

這種處理的結(jié)果，使得傳感器的相對(duì)非線性誤差增大，如圖4所式。

為改善這種情況，可采用差動(dòng)變極距式電容傳感器，這種傳感器的結(jié)構(gòu)，如圖5所示。它有三個(gè)極板，其中兩個(gè)固定不動(dòng)，只有中間極板可產(chǎn)生移動(dòng)。當(dāng)中間活動(dòng)極板處于平衡位置時(shí)，即d1=d2=do，則C1=C2=Co，如果活動(dòng)極板向右移動(dòng)⊿d,則d1=do-⊿d,d2=do+⊿d,采用上述相同的近似線性處理方法，可得傳感器電容總的相對(duì)變化，為

傳感器的相對(duì)非線性誤差γo為
不難看出，變極距式電容傳感器改成差動(dòng)之后，不但非線性誤差大大減小，而且靈敏度也提高了一倍。
(2).變面積式電容傳感器
圖6是變面積式電容傳感器結(jié)構(gòu)示意圖，它由兩個(gè)電極構(gòu)成，其中一個(gè)為固定極板，另一個(gè)為可動(dòng)極板，兩極板均成半圓形。假定極板間的介質(zhì)不變（即電介質(zhì)常數(shù)不變），當(dāng)兩極板完全重疊時(shí)，其電容量為
Co=⊿A/d
當(dāng)動(dòng)極板繞軸轉(zhuǎn)動(dòng)一個(gè)α角時(shí)，兩極板的對(duì)應(yīng)面積要減小⊿A，則傳感器的電容量就要減小⊿C。如果我們把這種電容量的變化通過(guò)諧振電路或其它回路方法檢測(cè)出來(lái)，就實(shí)現(xiàn)了角位移轉(zhuǎn)換為電量的電測(cè)變換。
電容式位移傳感器的位移測(cè)量范圍在1um—10mm之間，變極距式電容傳感器的測(cè)量精度約為2%。變面積式電容傳感器的測(cè)量精度較高，其分辨率可達(dá)0.3um。

電容傳感器分類：電容式傳感器的工作原理與分類_電容式傳感器的幾種基本形式

描述
　　電容式傳感器的工作原理
　　電容式傳感器是以各種類型的電容器作為傳感元件，將被測(cè)物理量或機(jī)械量轉(zhuǎn)換成為電容量變化的一種轉(zhuǎn)換裝置，實(shí)際上就是一個(gè)具有可變參數(shù)的電容器。電容式傳感器廣泛用于位移、角度、振動(dòng)、速度、壓力、成分分析、介質(zhì)特性等方面的測(cè)量。最常用的是平行板型電容器或圓筒型電容器。
　　容式傳感器也常常被人們稱為電容式物位計(jì)，電容式物位計(jì)的電容檢測(cè)元件是根據(jù)圓筒形電容器原理進(jìn)行工作的，電容器由兩個(gè)絕緣的同軸圓柱極板內(nèi)電極和外電極組成，在兩筒之間充以介電常數(shù)為ε的電解質(zhì)時(shí)，兩圓筒間的電容量為：
　　式中L為兩筒相互重合部分的長(zhǎng)度；D為外筒電極的直徑；d為內(nèi)筒電極的直徑；e為中間介質(zhì)的電介常數(shù)。在實(shí)際測(cè)量中D、d、e是基本不變的，故測(cè)得C即可知道液位的高低，這也是電容式傳感器具有使用方便，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單和靈敏度高，價(jià)格便宜等特點(diǎn)的原因之一。電容式傳感器是以各種類型的電容器作為傳感元件，由于被測(cè)量變化將導(dǎo)致電容器電容量變化，通過(guò)測(cè)量電路，可把電容量的變化轉(zhuǎn)換為電信號(hào)輸出。測(cè)知電信號(hào)的大小，可判斷被測(cè)量的大小。這就是電容式傳感器的基本工作原理。
　　電容式傳感器分類
　　根據(jù)傳感器的工作原理可把電容式傳感器分為變極距型、變面積型和變介質(zhì)型三種類型。
　　根據(jù)傳感器的結(jié)構(gòu)可把電容式傳感器分為三種類型的結(jié)構(gòu)形式。它們又可按位移的形式分為線位移和角位移兩種，每一種又依據(jù)傳感器極板形狀分成平（圓形）板形和圓柱（圓筒）形，雖然還有球面形和鋸齒形等其他形狀，但一般很少用。其中差動(dòng)式一般優(yōu)于單組（單邊）式傳感器，它具有靈敏度高、線性范圍寬、穩(wěn)定性高等特點(diǎn)。
　　電容式傳感器的幾種基本形式
　　實(shí)際應(yīng)用時(shí)，常常僅改變?nèi)齾?shù)之一以使其變化。所以電容式傳感器可分為三種基本類型：變極距（變間隙）型、變面積型型和變介電常數(shù)型稱重傳感器。
　　電容式傳感器的三種基本結(jié)構(gòu)形式。它們又可按位移的形式分為線位移和角位移兩種每一種又依據(jù)傳感器權(quán)板形狀分成平板和圓形或圓柱（圓筒）形，雖然還有球面形和鋸齒形等其他的形狀、但一般很少用，故表中未列出。其中差動(dòng)式傳感器一般優(yōu)于單組（單邊）式傳感器。它靈敏度高、線性范圍寬、穩(wěn)定性高。
　　1．變極匝型電容式傳感器
　　變極距型電容式傳感器用一個(gè)固定極扳和一個(gè)可動(dòng)極板構(gòu)成：可動(dòng)極板由被測(cè)金屬平面充當(dāng)。當(dāng)電容式傳感器極板間距因被測(cè)量變化而變化時(shí)．電容變化量為極距是時(shí)的初始電容量。
　　極板間距的變化不是線性關(guān)系說(shuō)明該類型電容式傳感器存在著原理性非線性誤差．即量程遠(yuǎn)小于兩極板問(wèn)的初始距離）時(shí)，可以認(rèn)為么是線性關(guān)系，因此，這種類型的傳感器一般用來(lái)測(cè)量微小的位移變化量。
　　但在極板間距過(guò)小時(shí)，電極表面的平面度對(duì)靈敏應(yīng)有影響，同時(shí)還容易引起電容器擊穿，
　　因此．極板間距不能無(wú)限小。改善的辦法是在極板間增放一片云母片或塑料膜。
　　云母的相對(duì)介電系數(shù)為空氣的7倍其擊穿電壓不小于l0的3次方kv／mm，而空氣的擊穿電壓僅為3kv/mm，即使厚度為0.01mm的云母片，它的擊穿電壓也術(shù)小于10kv／mm。因此，放置云母片后，極板之間的起始距離卸可以大大減小。只要云母片選得恰當(dāng)，就能獲得較好的線性關(guān)系拉繩位移傳感器。
　　一般電容式傳感器的起始電容約為20PF一30pF之間，極板間距在25um一200um左右，最大位移應(yīng)該大于間距的1/10.
　　實(shí)際使用中，為改善非線性，提高靈敏度及克服某些外界條件如電源電比、環(huán)境溫度變化的影響等、常常采用茲動(dòng)式結(jié)構(gòu)，在未開(kāi)始測(cè)量的初始狀態(tài)時(shí)，將可動(dòng)極板調(diào)整友中間位置，位兩邊電容相等；測(cè)員時(shí)。中間極板跟隨被測(cè)對(duì)象上下移動(dòng)，就會(huì)引起上下兩部分的電容量上增下減或上減下增，所以兩邊電容的控值這樣提高了靈敏廢，問(wèn)時(shí)在零點(diǎn)附近作的線性度也得到了改善。
　　需要指出，圓柱形極板小能制成交權(quán)距利。
　　2．變面積（s）型電容式傳感器
　　變四積型電容式傳感器中．平板形結(jié)構(gòu)對(duì)圾距變化特別敏感，測(cè)量精度受到影響，而圓柱形結(jié)構(gòu)受權(quán)板徑向變化的影響很小v成為實(shí)際應(yīng)用中最常來(lái)只結(jié)構(gòu)．其干線位移單組式的電容量在忽略邊緣效應(yīng)時(shí)為電容傳感器的電容變化與線位移成正比。
　　3．變介電常數(shù)（e）型電容式傳感器
　　變介電常數(shù)（c）型電容式傳感器大多用來(lái)測(cè)量電介質(zhì)的厚度、液位、還可根據(jù)極間介質(zhì)的介電常數(shù)隨溫度、濕度改變而改變來(lái)測(cè)量介質(zhì)材料的溫度、濕度等。若忽略邊緣故應(yīng)，表5—l中單組式平板形線位移傳感器的電容量與介質(zhì)線位移的關(guān)系為固定極板的長(zhǎng)度和寬度及被測(cè)物進(jìn)入兩極板間的長(zhǎng)度。
　　由此可見(jiàn)，電容量與線位移呈線性關(guān)系。
　　厚度傳感器中的電容量與厚度的關(guān)系為式中的符號(hào)含義與式相同。由此可見(jiàn)，電容量與厚度之間呈非線性關(guān)系。
　　應(yīng)該注意的是，如果電極之間的被測(cè)介質(zhì)導(dǎo)電時(shí)，在電極表面應(yīng)涂覆絕緣層，以防止電極間短路。
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