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產品規格型號

• Vvv技術

• 熱質量

• 液體類型

• 用于氣體

• 安裝類型

• 在線

• 材質

• 不銹鋼

• 通信協議

• RS485, 模擬輸出

• 電源電壓

• 5Vdc

• 保護程度

• 耐腐蝕

• 應用

• 用于高流量

• 其他特性

• 數碼

• 工藝壓力

• 最多: 34.47 bar

  最少: 0 bar (0 psi)

• 工藝溫度

• 最多: 50 °C (122 °F)

  最少: 0 °C (32 °F)

• 質量流量

• 最多: 300 l/min (79.3 us gal/min)

  最少: 0 l/min (0 us gal/min)

• 精確度

• 0.35 %, 1 %

• 重復精度

• 0.15 %

產品介紹

GF100 系列金屬密封熱質量流量控制器和儀表 高純度流路。出色的性能、可靠性和可重現性。 GF100 系列金屬密封質量流量控制器和儀表性能：快速響應和可重現的高純度/超高純度過程氣體輸送。專為半導體、MOCVD 等其他氣體流量控制應用設計，GF100 系列在可靠性方面優于半導體行業標準水平，可確保測量結果可重現并且長時間使用后性能依然高度穩定。一臺采用標準 MultiFlo? 技術的 MFC 即可滿足數千種氣體類型和各種量程組合的需求，無需從氣路上拆除 MFC 并且不影響精度。 結果：提高工藝靈活性和效率輔以業內最高純度的過程氣體，有助于最大限度提高產率和生產效率。 特點 長期零點穩定性，每年變動小于滿量程的 ± 0.5% 穩定時間：700 ms -<1 秒 全金屬密封流路：可選擇采用 4μ 或 10μ 英寸 Ra 表面處理的流路 耐腐蝕 Hastelloy? T-Rise 傳感器可提升高溫下測量結果的可重現性 MultiFlo? 氣體和量程設定功能 — 一臺設備即可滿足數千種氣體類型和各種量程組合的需求，無需從氣路上拆除 MFC 并且不影響精度 本地顯示屏 可選 SDS 氣體輸送 DeviceNet?、RS-485 L-協議和模擬接口