產品規格型號

• Vvv技術

• 熱質量, 壓差

• 液體類型

• 用于氣體

• 安裝類型

• 在線

• 通信協議

• RS485

• 電源電壓

• 5Vdc

• 保護程度

• 耐腐蝕

• 其他特性

• 組合式

• 工藝壓力

• 最少: 0 bar (0 psi)

  最多: 10.34 bar

• 工藝溫度

• 最少: 0 °C (32 °F)

  最多: 50 °C (122 °F)

• 精確度

• 0.35 %, 1 %

• 重復精度

• 0.15 %

產品介紹

GF125 系列產品是第二代多變量壓力變化補償型 (PTI) 金屬密封質量流量控制器和儀表，有著超快的響應速度和超高的純度。作為第一個將 PTI 質量流量控制技術引入市場的 GF125 系列產品最大限度降低了壓力和溫度波動導致的過程氣體流量變化。一臺采用標準 MultiFlo? 技術的 MFC 即可滿足數千種氣體類型和各種量程組合的需求，無需從氣路上拆除 MFC 并且不影響精度。 結果：降低了氣體顯示屏尺寸和成本，這得益于省去了壓力調節器、壓力傳感器和相關硬件的使用并輔以行業最佳的 PTI 性能以最大限度提高產率和生產效率。 特點 長期零點穩定性，每年變動小于滿量程的 ± 0.5%ar 穩定時間極短：300 ms -<700 ms 滿量程流速高達 300 slpm 超高純度流路 - 4μ 英寸 Ra 表面處理 符合 SEMI F20 標準的接液材料 采用高速 ARM 處理器的耐腐蝕 Hastelloy? T-Rise 傳感器 可進行快速反應的無隔膜閥組件不受壓差影響，并且測試表明產品經七百萬次循環無故障 MultiFlo? 技術擁有無與倫比的靈活性 — 一臺設備經編程設定后即可滿足數千種不同氣體和流量測量范圍配置的需求，無需從氣路上拆除 MFC 并且不影響精度 本地顯示屏可指示流量、溫度、壓力和網絡地址以便于輕松解決供氣和隔離閥故障問題 DeviceNet?、RS-485 L-協議和模擬接口 優勢 GF125 系列產品通過將布魯克斯儀器的流量傳感器專利技術與能夠進行快速反應的無隔膜閥組件相結合，可將響應速度和穩定速度較之其他質量流量控制器提高 3 倍。 經優化的接液流路，可提升干燥效果 MultiFloTM 技術可實現 MFC 流量測定量程的重新設定，通常是按 3:1 下調并且不影響精度，量程比或內漏率，以提供最佳的工藝和庫存靈活性 全面的氣體數據庫為您提供最廣泛的氣體保護信息