發布日期:2022-04-29 點擊率:48
Entegris 正在使用創新的流量控制技術解決當今的流量控制挑戰。 InVue集成流量控制器 (IFC) NT6510 專為超純液體化學品、去離子水和 CMP 漿料的使用點化學品混合和分配而設計。 NT6510 控制器還專為控制氣泡產生介質而設計,專為需要中低流速的應用而設計。 它是小的 InVue 集成流量控制器,可節省液體處理系統中的寶貴空間。 我們的 IFC 使用經過驗證且可靠的差壓流量測量技術和先進的閉環過程控制。 視覺指示器為預防性維護、故障排除和警報狀況提供診斷,使用戶能夠集成更準確的功能。
與其他常用技術相比,在易產生氣泡的介質中準確
用于同時雙輸出的集成壓力傳感器 - 流量和壓力
占地面積小,節省空間且易于安裝
高重復性,實現過程控制
快速響應準確分配率
LED 狀態和離散報警輸出