產(chǎn)品介紹

Entegris 正在使用創(chuàng)新的流量控制技術(shù)解決當(dāng)今的流量控制挑戰(zhàn)。 InVue集成流量控制器 (IFC) NT6510 專為超純液體化學(xué)品、去離子水和 CMP 漿料的使用點化學(xué)品混合和分配而設(shè)計。 NT6510 控制器還專為控制氣泡產(chǎn)生介質(zhì)而設(shè)計，專為需要中低流速的應(yīng)用而設(shè)計。 它是小的 InVue 集成流量控制器，可節(jié)省液體處理系統(tǒng)中的寶貴空間。 我們的 IFC 使用經(jīng)過驗證且可靠的差壓流量測量技術(shù)和先進的閉環(huán)過程控制。 視覺指示器為預(yù)防性維護、故障排除和警報狀況提供診斷，使用戶能夠集成更準(zhǔn)確的功能。

性能特點

與其他常用技術(shù)相比，在易產(chǎn)生氣泡的介質(zhì)中準(zhǔn)確

用于同時雙輸出的集成壓力傳感器 - 流量和壓力

占地面積小，節(jié)省空間且易于安裝

高重復(fù)性，實現(xiàn)過程控制

快速響應(yīng)準(zhǔn)確分配率

LED 狀態(tài)和離散報警輸出

技術(shù)參數(shù)

詳細參數(shù)

產(chǎn)品應(yīng)用