產品介紹

ProE-Vap 100 輸送系統專為用于原子層沉積 (ALD) 和化學氣相沉積 (CVD) 工藝的固體前體而設計。它為用于當前和未來技術節點的各種固體材料提供穩定的質量通量。固體前體由于其低蒸氣壓和有限的熱穩定性而難以始終如一地輸送到沉積室中。 ProE-Vap 系統克服了這些問題，提供了業內解決方案。與其他蒸發器相比，ProE-Vap 輸送系統允許在較低溫度下更穩定地輸送更高的固體前體，從而降低 ALD 和 CVD 的擁有成本。它大限度地減少了化學濃度漂移，從而以更少的工具停機時間實現更高的晶圓產量。自 2008 年以來，ProE-Vap 在大批量制造環境中展示了高可靠性和強大的性能。它支持交付制造高度復雜的微電子器件制造所需的各種無機和過渡金屬前體。

性能特點

在較低溫度下提供更高的質量通量

支持氣動和手動閥門選項

良好的整體性能，在汽化器使用壽命期間具有一致的通量

能夠利用前體并大限度地減少過熱造成的分解

技術參數

詳細參數

產品應用