產(chǎn)品介紹
FormFactor 的新型 CM300xi-ULN（超低噪聲）是一種革命性的 300 毫米晶圓探測系統(tǒng)，專為高精度閃爍噪聲 (1/f)、隨機(jī)電報(bào)信號(hào)噪聲（RTN 或 RTS）和超靈敏設(shè)備的相位噪聲測量而設(shè)計(jì)。
憑借PureLine 3 技術(shù)，ULN 探測系統(tǒng)消除了先前探測系統(tǒng)中 97% 的環(huán)境噪聲，并為超低噪聲測量建立了新的行業(yè)黃金標(biāo)準(zhǔn)。
當(dāng)與噪聲測試設(shè)備（閃爍噪聲、RTN、相位噪聲）集成時(shí)，CM300xi-ULN 可提供高的測試吞吐量，使用帶有電動(dòng)探針定位器的接觸智能，通過多 DUT 布局實(shí)現(xiàn)完全自主的直流和低頻噪聲探測完全免提 24/7 操作。
最后，CM300xi-ULN 消除了低噪聲 TestCell 優(yōu)化的復(fù)雜性。只需將其插入即可。低噪聲現(xiàn)場調(diào)查和系統(tǒng)驗(yàn)證降低了設(shè)置成本和工具部署時(shí)間。這使實(shí)驗(yàn)室工程師可以專注于獲得良好的設(shè)備數(shù)據(jù)，這些數(shù)據(jù)可用于減少成本高昂的重新設(shè)計(jì)的數(shù)量，并以更低的開發(fā)成本加快上市時(shí)間。
性能特點(diǎn)
PureLine 3 技術(shù)
在被測設(shè)備 (DUT) 周圍提供有效的無噪聲環(huán)境
實(shí)現(xiàn) -190dB 頻譜噪聲的自動(dòng)探針臺(tái)
噪聲降低高達(dá) 32 倍 (1kHz)，用于改進(jìn) 7/5/2 nm 技術(shù)節(jié)點(diǎn)的器件表征和建模，面向 5G 及更高應(yīng)用
消除了之前探頭系統(tǒng)中 97% 以上的環(huán)境噪聲
廣泛收集 FormFactor電氣設(shè)計(jì)知識(shí)和測量系統(tǒng) IP
即插即用
自主 24/7運(yùn)營
低噪音現(xiàn)場調(diào)查
由 FormFactor 工廠訓(xùn)練有素的工程師執(zhí)行，以確定安裝 ULN 系統(tǒng)的位置
可以選擇一個(gè)好的位置，以限制不需要的環(huán)境噪聲降低 TestCell 性能
降低設(shè)置成本和工具部署時(shí)間
包括四個(gè)關(guān)鍵噪聲源的測量：地板振動(dòng)（1Hz 至 1KHz 范圍內(nèi)的 μg）、磁場強(qiáng)度（AC 毫高斯）、電力線噪聲和電力線 THD（總諧波失真）
系統(tǒng)驗(yàn)證服務(wù)
每個(gè) CM300xi-ULN 探測系統(tǒng)都包含在內(nèi)
展示與標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品數(shù)據(jù)表相關(guān)的關(guān)鍵規(guī)格和性能
測量關(guān)鍵產(chǎn)品規(guī)格參數(shù)，例如頻譜噪聲密度（dBVrms/√Hz，1Hz 至 20MHz）和交流吸盤噪聲（mV p-p，DC 至5GHz）
ULN 微型腔室
ULN 功率調(diào)節(jié)單元
為整個(gè)系統(tǒng) - 探測器和儀器提供完全管理和過濾的交流電源
消除探針臺(tái)和儀器之間會(huì)導(dǎo)致低頻噪聲的接地回路
為探針臺(tái)、熱冷卻器和控制器、晶圓裝載器、供電附件和所有測試儀器提供清潔、過濾的交流電源
提供統(tǒng)一的緊急關(guān)閉/緊急電源控制系統(tǒng)，確保整個(gè)系統(tǒng)和所有儀器的運(yùn)行。
ULN 熱過濾模塊
ULN 單點(diǎn)接地和布線系統(tǒng)
用于精確 PLL 相位噪聲的 ULN SMU 濾波模塊
新開發(fā)的用于源測量單元 (SMU) 的直流濾波器模塊
用于對鎖相環(huán)電路 (PLL) 和壓控振蕩器 (VCO) 等設(shè)備進(jìn)行高精度相位噪聲測量
提供超靜音/清潔的直流電源電壓
提供高達(dá) 100dB 的衰減（50Hz 至 80Mhz），直流電流為100mA
每個(gè)SMU濾波器模塊支持一個(gè)通道，多個(gè)模塊可配置在一起提供多通道清潔電源
高性能探頭
輕松手動(dòng)裝載晶圓
3D 手動(dòng)控制
前面的 Virtual Platen Lift 和 XY 旋鈕
在 X、Y 和 Z 方向上直觀、精確地移動(dòng)卡盤
Platen Lift 能夠以極其快速和直觀的方式執(zhí)行許多對齊任務(wù)，例如設(shè)置接觸高度
Velox 探針臺(tái)控制軟件
以用戶為主的設(shè)計(jì)大限度地降低培訓(xùn)成本并提高效率
Windows 10 兼容性通過硬件實(shí)現(xiàn)高性能和操作
對準(zhǔn)功能——從簡單的晶圓對準(zhǔn)和映射到用于自主半導(dǎo)體測試的多種溫度下的高級(jí)探針到焊盤對準(zhǔn)
為沒有經(jīng)驗(yàn)的用戶簡化操作：通過工作流程指南和精簡的圖形用戶界面降低培訓(xùn)成本
VeloxPro 選項(xiàng)：符合 SEMI E95 標(biāo)準(zhǔn)的測試執(zhí)行軟件，可實(shí)現(xiàn)整個(gè)晶圓測試周期的簡化和自動(dòng)化
測試生產(chǎn)力和材料處理單元
盒外測試自動(dòng)化，可提高夜間/周末操作的測試單元效率
可處理 25 個(gè)晶圓（200 或 300 毫米）
SEMI 標(biāo)準(zhǔn)盒式熱插拔功能
非常緊湊的全自動(dòng)解決方案，占地面積小
產(chǎn)品結(jié)構(gòu)與細(xì)節(jié)
可選功能與配件
技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品應(yīng)用
用于超低噪聲測量的 300 mm 半/全自動(dòng)探頭系統(tǒng)
詳細(xì)參數(shù)
產(chǎn)品應(yīng)用
