SS 316L結構
10 μin.表面處理（25 μin.可選）
真空至3500 psig（241 bar）入口
1至300 psig（0.07至21 bar）出口
清洗，組裝和包裝用于高純度半導體應用
流量
-標準至30 slpm
-HF選項為120 slpm
使用點應用的首選調節器
旋鈕LOTO
傳輸壓力：5至150 psig（0.34至10 bar）
耐壓：工作壓力的150％
爆破壓力：工作壓力的300％
流量系數（Cv）：0.09（可選0.15 HF）
內部容積：0.49 in3（8 cm3）
端口：2口對接焊
閥體，噴嘴：SS 316L
隔膜：SS 316L
涂層：電拋光和鈍化
閥座：PCTFE（可選聚酰亞胺和PTFE）
入口/出口連接：1/4英寸面密封，母接頭
舷內泄漏：2 x 10-10 sccs
舷外泄漏：2 x 10-9 sccs He
座椅泄漏：4 x 10-8 sccs
安裝面或面板（可選）
工作溫度：-40°至+ 160°F（-40°至+ 71°C）
