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應用領域
應用于光探測器用電子玻璃材料、光敏微精玻璃等光電子玻璃產品的制造。
技術參數
1．工位接口數量：6-20工位。
2．極限真空度：抽排的工件極限真空度10-8Pa；
3．無油污染：采用無油機械泵與分子泵，避免油蒸汽對工作環境的污染；
4. 烘烤：烘箱加熱，烘烤溫度可達到200℃且具有溫度顯示和可調功能；
5. 工位處配置充N2接口，使在卸下工件時能夠充入N2保護；
高真空排氣臺
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