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    氣體傳感器是一種可以把被測量的氣體的濃度轉(zhuǎn)換成為跟它有一定的關(guān)系的電量輸出的測量精密儀器。它的用途是檢測待測氣體的成分、濃度和類別。按照它的構(gòu)成，可以把分為非半導(dǎo)體和半導(dǎo)體兩種類型。
    現(xiàn)在主要來介紹一下半導(dǎo)體氣體傳感器。當(dāng)半導(dǎo)體的表面跟待測的氣體相接觸時(shí)，就會形成電導(dǎo)率等一些物理性質(zhì)的變化，它就是利用這個(gè)原理來檢測氣體的。當(dāng)氣體和半導(dǎo)體之間作用的時(shí)候，形成的變化就只限于深入到半導(dǎo)體的內(nèi)部或者是半導(dǎo)體的表面，按照這兩種變化，可以把它分為體控制型和表面控制型。
    半導(dǎo)體氣敏元件的有關(guān)特性參數(shù)分為恢復(fù)時(shí)間、初期穩(wěn)定時(shí)間、響應(yīng)時(shí)間、分辨率、靈敏度和電阻值。
    初期穩(wěn)定時(shí)間：如果氣敏元件在很長時(shí)間內(nèi)沒有使用過，那么它的表層就會吸附空氣中的一些氣體和水分，這樣會改變它的表層的狀態(tài)。多了負(fù)電荷之后，如果溫度升高了，那么氣敏元件就會發(fā)生解吸的現(xiàn)象。所以，如果氣敏元件很長一段時(shí)間沒有工作后，要恢復(fù)到平時(shí)正常的工作狀態(tài)，就需要稍等一段時(shí)間，這就叫做氣敏元件的初期穩(wěn)定時(shí)間。
    恢復(fù)時(shí)間：處在工作的有關(guān)溫度下，待測的氣體在此元件上面的解吸的速度，一般是從被測的氣體和氣敏元件相互脫離的時(shí)候開始計(jì)時(shí)，當(dāng)它的阻值達(dá)到平時(shí)在清潔的空氣之中的阻值的百分之六十三的時(shí)候停止計(jì)時(shí)，這個(gè)時(shí)間段就是氣敏元件的恢復(fù)時(shí)間。
    響應(yīng)時(shí)間：在工作的時(shí)候，氣敏元件對待測氣體的反應(yīng)的速度。
    分辨率：氣敏元件對干擾氣體的抑制的能力和待測氣體的選擇。
    靈敏度：氣敏元件對待測氣體的敏感程度。它代表待測氣體的濃度和氣體敏感元件的電參量之間的關(guān)系。
    電阻值：在常溫的狀態(tài)下，把電阻型的氣敏元件在清潔的空氣中的電阻值叫做氣敏元件的固有電阻值。
    對半導(dǎo)體氣體傳感器要求的基本的性能有：實(shí)時(shí)性，就是說它的動態(tài)性能要好；重復(fù)性，傳感器可以重復(fù)使用很多次，而且穩(wěn)定性好和使用壽命較長；選擇性，可以根據(jù)所需要的要求測量出氣體的濃度，而且不會受到其他氣體和其他物質(zhì)的干擾。
    半導(dǎo)體氣體傳感器的應(yīng)用是非常廣泛的，它的成本很低、使用的壽命長、恢復(fù)的時(shí)間和響應(yīng)的時(shí)間比較快以及靈敏度很高，因此對它的使用是越來越普遍的。但是因?yàn)楝F(xiàn)在它的研究所涉及的范圍越來越廣泛，而且難度越來越大，那是屬于多個(gè)學(xué)科交叉研究的范圍，所以如果要提高它的性能就需要通過多個(gè)領(lǐng)域和多個(gè)學(xué)科的研究人員的共同合作。不同半導(dǎo)體氣體傳感器的不同結(jié)構(gòu)以及它們的氣敏元件所需的不同材料，這些都是研究者一直所要關(guān)注的問題。