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    內熱式真空爐電熱元件的電壓如果選擇太高，會導致爐內的真空放電或輝光放電，致使電熱元件受到損壞。如果電壓選擇太低，就會增大電熱元件的電流，致使電熱元件的連接困難而結構復雜、并且增加了電損耗。

    有資料指出，在真空下，特別是在133~1.3Pa范圍內，會產生真空放電。在13.3~0.13Pa真空度下，輝光放電電壓(交流〉為250V左右。因此，一般真空熱處理爐電熱元件的電壓可以選擇在200V以下。下表列出了真空熱處理爐端電壓的推薦值。

    在高真空的熱處理爐中，擊穿電壓要比最低值高得多。采用表中的推薦值是為了防止爐內可能在工作時因材料放氣，而使壓力短暫升高、產生真空放電，致使電熱元件損壞。

    同時，考慮到真空中電熱元件揮發、爐中殘存氣體及漏氣，致使真空爐電熱元件與爐內氣氛的相互作用等因素，資料給出通常真空爐一般電熱元件的端電壓一般不超過100V。