金屬密封的超高真空法蘭對于需要頻繁放入大氣更換工件的超高真空系統，每次重新拆裝容器法蘭由于刀口壓痕的不重合或刀口受到損傷，難以確保可靠地密封，特別是使用一次性密封的金屬墊圈，在每次打開容器時，都需要更換新的法蘭密封圈，鋁箔密封的法蘭，在高溫烘烤時往往會因擴散焊而黏附在不銹鋼法蘭面上難以去除，給更換密封圈帶來麻煩，對于極限壓力不高于10^-6~10^-7Pa的超高真空系統，可采用氟橡膠密封，并采取相應措施減少橡膠出氣速率比金屬大的缺點。

    氟橡膠可承受250~300℃的高溫烘烤，在受壓的條件下，能長期工作在125℃。它比常用的丁腈橡膠出氣速率低。

    盡量采用截面直徑較小的O形橡膠圈，在密封槽設計時，選用兩法蘭能壓緊在一起使暴露在真空側橡膠面積最小的結構設計。常用的O形橡膠圈密封槽尺寸如下圖所示，膠圈的壓縮量為O形圈截面直徑的30%，槽寬至少是O形圈截面直徑的1.4倍，O形圈的內徑應略小于密封槽的內徑，裝配后可使橡膠圈緊貼在密封槽內，O形圈向外有足夠的橫向變形空間，兩個法蘭平面緊壓在一起可將O形圈全部壓入密封槽內而不會從槽中擠壓出來。為便于加工，密封槽底面角可加工成半徑等于O形圈截面直徑1/5圓角，密封面的粗糙度至少要達到1.6μm(最好為0.8μm)，槽的外部邊沿倒角0.13mm，并需修整光潔避免裝配時劃傷O形圈。

O形橡膠圈密封槽尺寸

    降低橡膠密封圈的溫度或采用中間抽氣的雙道密封圈，能有效地降低橡膠的出氣速率和漏氣率。

(慧樸科技，huiputech)