發布日期：2022-11-05 點擊率：66
真空計原理 | 名稱 | 量程Pa | 精度 | 反應時間 | 備注 | ||
力 | 重力 | 液體真空計 | 汞柱壓力計 | 105~102 | 10% | 幾秒 | ① |
基準汞柱壓力計 | 104~10(10-1) | ||||||
油柱壓力計 | 103~10 | 1% | 幾秒至幾分 | ||||
基準油柱壓力計 | 102~10-2(10-3) | ||||||
壓縮式真空計 | 103~10-1(10-6) | ＜3% | 幾分 | ①④ | |||
機械力 | 變形計 | 彈簧管真空計 | 105~103 | 10% | 幾秒 | ① | |
膜盒真空計 | 105~102 | ＜10% | 幾秒 | ||||
薄膜電容真空計 | 103~10-2 | ＜1% | ＜1s | ② | |||
薄膜應變真空計 | 105~102 | ① | |||||
阻尼力 | 黏滯計 | 振幅衰減真空計 | 1~10-3 | 10%-100% | 幾秒 | - | |
磁懸轉子真空計 | 1~10-4 | - | - | - | |||
振膜真空計 | 104~10-1 | ≤±2% | ＜1s | - | |||
分子力 | 熱輻射真空計 | 1~10-5 | ＜10% | 幾秒至幾十秒 | ② | ||
氣體分子熱傳導（熱傳導真空計） | 電阻真空計 | 102~10-1(10-2) | 10%~100% | 定溫型約1s | ③ | ||
熱偶真空計 | 102~10-1 | 幾秒 | |||||
半導體真空計 | 102~10-3 | 幾秒 | |||||
熱電堆真空計 | 102~10-1 | - | |||||
氣體對流 | 對流真空計 | 105~102 | - | - | |||
氣體電離 | 荷能粒子 | 熱陰極計 | 電離真空計 | 10-1~10-5 | 10%~20% | 10-3s | ③ |
中真空電離真空計 | 102~10-4 | ||||||
B-A電離真空規 | 10-1~10-8 | ||||||
熱陰極磁控計 | 10-5~10-11(10-13) | ||||||
放射源（α）電離真空計 | 104(105)~10-1 | 10% | 0.1s | ||||
自持放電 | 冷陰極計 | 潘寧計 | 1~10-4 | 20%~50% | 0.1s | ||
反磁控真空計 | 10-2~10-9(10-11) 10~10-3 | ||||||
正磁控真空計 | 10-2~10-8 102~10-3 | ||||||
放電管真空計 | 102~10-1 | - | ＜1s | ||||
備注一欄中①絕對真空計，靈敏度與氣體種類無關；②近似絕對真空計，靈敏度與氣體種類關系很小；③相對真空計，靈敏度與氣體種類有關，需進行校準；④非理想氣體的壓力測量受到限制。
（慧樸科技，huiputech）
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