材料在大氣環境下都能吸附、溶解氣體，因而存放于大氣中的材料在真空條件下，吸附在材料表面的氣體和溶解在材料內部的氣體會逐漸放出，這種現象稱為材料的出氣。單位時間、單位面積的出氣量稱為出氣速率。

    不同材料具有不同的出氣速率，即使是同一種材料由于冶煉條件、存儲條件、加工工藝、表面粗糙度、銹蝕情況以及放入真空室之前的預處理的不同，都會影響材料出氣速率，這就是不同作者測量的出氣速率不盡相同的原因。

    選用材料的出氣速率時，一定要考慮這些情況，盡可能選用測試條件接近的數據，必要時可對材料的出氣速率進行復檢。

    材料的出氣速率是溫度的函數，是出氣時間的慢變化函數。通常出氣時間延長一個數量級，出氣速率只降低0.5~1個數量級。經過真空除氣的材料，長時間暴露大氣后重新吸氣并恢復到原來的狀況。經常運轉的真空系統，在兩次運轉之間短時間暴露大氣(1h以內)，可等效為材料已在真空中經歷了10h的出氣時間；對于經常運轉的系統，停止運轉后保持低真空而不暴露大氣，則可等效為經歷了100h的出氣時間。

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