隨著人口老齡化和中國醫療保健系統的健全，各種遠距離監護和高精度治療設備將越來越多地被引入。醫療保健市場逐漸成為MEMS傳感器應用的又一大市場。MEMS具有微型的特點，可以代替器官植入、微量檢測，主要的發展方向是血管內手術和顱內手術以及細胞手術。目前，很多傳感器已經成功的應用的醫療設備中了，如，MEMS加速度傳感器用于無創胎心檢測，傾角模塊在醫療手術床上應用等。

　　MEMS傳感器在消費電子領域中主要應用于運動/墜落檢測、導航數據補償、游戲/人機界面、電源管理、GPS增強/盲區消除、速度/距離計數、其他體育和保健應用等等。這些MEMS技術都在很大程度上提高了用戶體驗，并帶來了全新的電子消費產品。其中加速度計是該市場中第一大應用產品。而近期陀螺儀增長迅速，已經成為繼加速度計后的第二大應用產品。

　　汽車電子是傳感器的一個重要應用領域。隨著電子技術的發展和汽車電子控制系統應用的日益廣泛，汽車傳感器市場需求將保持高速增長，微型化、多功能化、集成化和智能化的傳感器將逐步取代傳統的傳感器，成為汽車傳感器的主流。每臺汽車會有40到上百個傳感器，而汽車智慧化的發展趨勢也將促進汽車市場對傳感器的需求。

　　除去以上三個領域，在工業領域中，MEMS傳感器也有很多的應用。小體積、低成本的MEMS傳感器越來越多地用在各種機械振動監測上，它可以用來監測馬達、軸承等的振動，從而實現預見性維護;利用MEMS加速度計實現的傾角儀也被廣泛用在各種工業測量設備上;還有遙控直升機的伺服系統、兩輪車的平衡系統、天線穩定平臺等。