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    激光具有高強度、高度方向性、空間同調性、窄帶寬和高度單色性等優點。目前常用來測量長度的干涉儀，主要是以邁克爾遜干涉儀為主，并以穩頻氦氖激光為光源，構成一個具有干涉作用的測量系統。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作，并可作為精密工具機或測量儀器的校正工作。
    1.維護保養說明:
    1.1.儀器運輸要求
    不用設備時需將激光器出光 前蓋，旋轉 90 度，防止外部粉塵進入激光頭內部。
    對儀器要小心輕放，避免強烈的沖擊震動。
    1.2.儀器保存要求
    附件應統一放在附件箱，需防撞、防劃傷。
    激光干涉儀要設置專庫存放，環境要求干燥、通風、防震、防霧、防塵、防銹。儀器應保持干燥。
    各種儀器均不可受壓、受凍、受潮或受高溫，儀器箱不要靠近火爐或暖氣管。
    保持光學鏡的干燥、清潔。不可拆卸，不可手摸。
    1.3.光學鏡維護
    盡量不要去擦拭儀器的反光鏡、分光鏡等，如必須擦拭則應當使用無磨蝕性鏡片紙和眼睛清潔布輕輕擦拭。
    清潔時使用適合眼睛的清洗液或類似的清潔劑，嚴禁丙酮擦拭。