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　　真空燒結(jié)爐主要用于半導(dǎo)體元器件及電力整流器件的燒結(jié)工藝，可進(jìn)行真空燒結(jié)，氣體保護(hù)燒結(jié)及常規(guī)燒結(jié)。

　　是半導(dǎo)體專用設(shè)備系列中一種新穎的工藝裝備，它設(shè)計(jì)構(gòu)思新穎，操作方便，結(jié)構(gòu)緊湊，在一臺(tái)設(shè)備上可完成多個(gè)工藝流程。亦可用于其他領(lǐng)域內(nèi)的真空熱處理，真空釬焊等工藝。

　　燒結(jié)爐的使用：

　　1：檢查燒結(jié)爐電路和水路能否正常，如正常通電，通水。

　　2：翻開機(jī)械泵，過30秒后遲緩翻開預(yù)抽閥，1分鐘后翻開前級(jí)閥。

　　3：在真空度到達(dá)10Pa以下時(shí)翻開擴(kuò)散泵，給擴(kuò)散泵加熱

　　4：擴(kuò)散泵加熱到60分鐘后，關(guān)閉預(yù)抽閥，翻開高真空閥，真空度會(huì)逐步到達(dá)高真空。

　　5：加熱啟動(dòng)，在200度以下請(qǐng)你選用手動(dòng)加熱，在控制面板手動(dòng)操作菜單中，留意次運(yùn)用時(shí)，把撥鈕上下動(dòng)搖一次，然后撥到手動(dòng)位置，啟動(dòng)加熱，輸入50左右，肯定。

　　電流普通控制在300A以下，自動(dòng)加熱：在溫度控制界面設(shè)定溫控表自動(dòng)開端加熱或開啟手動(dòng)位用手動(dòng)開端加熱。

　　以上設(shè)置闡明：

　　從200度用時(shí)120分鐘到600度，600度時(shí)保溫30分鐘，從600度用時(shí)130分鐘到1000度，在1000度時(shí)保溫5個(gè)小時(shí)，從1000度降到600度用時(shí)60分鐘，60分鐘后程序自動(dòng)中止（注：在時(shí)間上設(shè)定-121程序在此會(huì)自動(dòng)中止）。

　　設(shè)定好加熱工藝后，首先中止手動(dòng)加熱，然后把撥鈕撥到自動(dòng)位置，啟動(dòng)自動(dòng)加熱程序，假如需求記載數(shù)據(jù)請(qǐng)?jiān)跀?shù)據(jù)保管見面打“√”。

　　6：在保溫狀態(tài)下，一定要堅(jiān)持循環(huán)水的正常循環(huán)。

　　7：保溫時(shí)間到后，關(guān)閉加熱開關(guān)，假如不需求高真空能夠關(guān)閉擴(kuò)散泵，翻開預(yù)抽閥，關(guān)閉高真空閥，開端降溫。留意：機(jī)械泵不要關(guān)閉。

　　8：在溫度降到200度時(shí)關(guān)掉機(jī)械泵（擴(kuò)散泵到達(dá)常溫），關(guān)閉一切閥門。

　　9：在常溫下釋放壓力，沖入空氣，將原料取出。

　　10：如不繼續(xù)工作，應(yīng)翻開機(jī)械泵和預(yù)抽閥再抽5分鐘真空，關(guān)閉機(jī)械泵和預(yù)抽閥。堅(jiān)持工作室里有真空度，避免水汽侵入。

　　11、壓力操作：

　　首先在手動(dòng)操作界面，報(bào)壓力形式撥到自動(dòng)位置，能夠直接用儀表操作，設(shè)定好程序后按run鍵3秒啟動(dòng)，按stop鍵3秒中止。