產品介紹

采用 L-Motion 技術的 053 Transfer Insert 特別適用于蝕刻或 CVD 等腐蝕工藝。L-Motion 技術通過單軸氣動執行器提供閘門的 L-motion。在這種 L 運動中，閘板垂直移動到關閉位置，與閥體沒有任何接觸，在最后的運動中，它被水平推到閘閥座上，密封件同時以完全相同的壓力接觸閘板座。這不僅避免了任何摩擦和潛在的顆粒產生，還大限度地減少了密封磨損。

為了進一步減少顆粒的產生和活化，閘門配有硫化密封件。這是一種比標準 O 型圈密封更可靠、更耐用的密封解決方案，盡管標準 O 型圈密封作為選項提供。軸饋通采用高度耐用的金屬焊接波紋管密封。

為了確保閘門的整個長度具有相同的密封水平，閘門配備了一個特殊的壓桿。該條保證了澆口每個區域的密封壓力均勻分布。

在斷電的情況下，05.3可以氣動鎖定在關閉位置。

帶 L-Motion 的 05.3 轉換插件專為延長免維護操作而設計（≤?3?百萬次循環，直到第一次服務）。

053 系列已安裝在各種半導體生產工藝中的數百個要求苛刻的應用中，證明了其可靠性。053 系列具有堅固的設計以及減少和易于維護的特點，在各個方面都令人信服。

性能特點

• 在腐蝕性過程條件下可靠運行

• L-Motion 技術可避免粒子產生和激活

• 用于均勻澆口壓力分布的壓桿

• 波紋管密封軸饋通

• 延長免維護周期

• 平穩、低沖擊運動

• 正常運行時間長/性能不受限制

• 快速操作

• 運營成本低

技術參數

詳細參數

產品應用