發(fā)布日期:2022-04-29 點(diǎn)擊率:136
VYPER 系列激光器是專為準(zhǔn)分子激光退火 (ELA) 設(shè)計(jì)的多光束高功率準(zhǔn)分子激光器。高分辨率移動(dòng)顯示器制造的高質(zhì)量需求需要高品位低溫多晶硅 (LTPS),該多晶硅 (LTPS) 只能使用準(zhǔn)分子激光器制造。
這些激光器非常適合高功率 LineBeam 750 (VYPER)、LineBeam 1000 (TwinVYPER) 和 LineBeam 1500 (TriVYPER) 光學(xué)器件。
非常高的UV 功率,可實(shí)現(xiàn)高通量應(yīng)用
能量穩(wěn)定性,確保高產(chǎn)量
EquiSwitch 同步提供低的抖動(dòng)
激光數(shù)據(jù)采集可實(shí)現(xiàn)過(guò)程控制
密封和凈化的光束路徑,可實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的長(zhǎng)期運(yùn)行
用于控制和快速數(shù)據(jù)采集的以太網(wǎng)接口





準(zhǔn)分子激光退火
脈沖激光沉積