信息更新: 2021年3月1日

超高性能傳感器支持大范圍準(zhǔn)確測量的核心質(zhì)量

測量中心距離為20 ~ 1,500 mm的各種型號(hào)。
最大分辨率達(dá)0.25 μm。
最大響應(yīng)速度達(dá)110 μs。
支持并行輸出。

ZS-HL 特點(diǎn) 3 ZS-HL_Features1
ZS-HL 特點(diǎn) 4 ZS-HL_Features2
ZS-HL 特點(diǎn) 5 ZS-HL_Features3

超穩(wěn)定性

最佳尺寸/穩(wěn)定性
傳感器尺寸

重視性能的理想傳感器頭尺寸和3點(diǎn)式固定構(gòu)造確保出眾的傳感穩(wěn)定性。(參見注釋)

ZS-HL 特點(diǎn) 9 ZS-HL_Features4

注:ZS-HLDS2T 不可用。

卓越的移動(dòng)分辨率
透視分辨率提升

通過提高受光透鏡的靈敏度和分辨率,使光學(xué)系統(tǒng)較優(yōu)化,從而大幅度降低移動(dòng)分辨率誤差(因工件表面位置引起的誤差)。

ZS-HL 特點(diǎn) 13 ZS-HL_Features5

材質(zhì)間誤差降低
2維CMOS

CCD在受光量過多時(shí)電荷會(huì)溢出至相鄰的像素。CMOS避免了這種現(xiàn)象,不會(huì)受不同材質(zhì)或受光過多導(dǎo)致的光量變動(dòng)影響。

ZS-HL 特點(diǎn) 16 ZS-HL_Features6
ZS-HL 特點(diǎn) 17

降低決定測量精度的不同物體之間的差異。
因此,可以更方便地應(yīng)用于檢測對象物。

ZS-HL 特點(diǎn) 19 ZS-HL_Features7
ZS-HL 特點(diǎn) 21 ZS-HL_Features8
ZS-HL 特點(diǎn) 22 ZS-HL_Features9
ZS-HL 特點(diǎn) 23

1,500mm長距離檢測,可以測量以往無法測量的點(diǎn)。

ZS-HL 特點(diǎn) 25 ZS-HL_Features10
ZS-HL 特點(diǎn) 27 ZS-HL_Features11

注:此功能可能在明亮環(huán)境中無效。

ZS-HL 特點(diǎn) 29

可穩(wěn)定測量傾斜工件和移動(dòng)工件。

ZS-HL 特點(diǎn) 31 ZS-HL_Features12
ZS-HL 特點(diǎn) 32 ZS-HL_Features13

專門為ZS-HLDS2VT開發(fā)的非球面透鏡,采用的光學(xué)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)適用于正反射工件。顯著擴(kuò)大了允許傾斜的角度,并提高了測量透明工件和正反射工件的穩(wěn)定性。

ZS-HL 特點(diǎn) 34 ZS-HL_Features14
ZS-HL 特點(diǎn) 35

在半導(dǎo)體晶圓片、玻璃等要求精度高的測量上具有較佳優(yōu)勢。

ZS-HL 特點(diǎn) 37 ZS-HL_Features15
ZS-HL 特點(diǎn) 38 ZS-HL_Features16

令人難以置信的測量精度0.25μm,同級(jí)產(chǎn)品的較高水平。

ZS-HL 特點(diǎn) 40 ZS-HL_Features17

密封調(diào)和器的高度控制

ZS-HL 特點(diǎn) 42 ZS-HL_Features18

HDD用電機(jī)旋轉(zhuǎn)座的光盤播放檢查

ZS-HL 特點(diǎn) 44 ZS-HL_Features19

信息更新: 2021年3月1日

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產(chǎn)品分類

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ZS-HL 2D CMOS激光型

ZS-HL 2D CMOS激光型
信息更新: 2021年3月1日 超高性能傳感器支持大范圍準(zhǔn)確測量的核心質(zhì)量 測量中心距離為20 ~ 1,500 mm的各種型號(hào)。 最大分辨率達(dá)0.25 μm。 最大響應(yīng)速度達(dá)110 μs。 支持并行輸出。 超穩(wěn)定性 最佳尺寸/穩(wěn)定性傳感器尺寸 重視性能的理想傳感器頭尺寸和3點(diǎn)式固定構(gòu)造確保出眾的傳感穩(wěn)定性。(參見注釋) 注:ZS-HLDS2T 不可用。 卓越的移動(dòng)分辨率透視分辨率提升 通過提高受光透鏡的靈敏度和分辨率,使光學(xué)系統(tǒng)較優(yōu)化,從而大幅度降低移動(dòng)分辨率誤差(因工件表面位置引起的誤差)。 材質(zhì)間誤差降低2維CMOS CCD在受光量過多時(shí)電荷會(huì)溢出至相鄰的像素。CMOS避免了這種現(xiàn)象,不會(huì)受不同材質(zhì)或受光過多導(dǎo)致的光量變動(dòng)影響。 降低決定測量精度的不同物體之間的差異。 因此,可以更方便地應(yīng)用于檢測對象物。 1,500mm長距離檢測,可以測量以往無法測量的點(diǎn)。 注:此功能可能在明亮環(huán)境中無效。 可穩(wěn)定測量傾斜工件和移動(dòng)工件。 專門為ZS-HLDS2VT開發(fā)的非球面透鏡,采用的光學(xué)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)適用于正反射工件。顯著擴(kuò)大了允許傾斜的角度,并提高了測量透明工件和正反射工件的穩(wěn)定性。 在半導(dǎo)體晶圓片、玻璃等要求精度高的測量上具有較佳優(yōu)勢。 請點(diǎn)擊此處,查看大圖。 令人難以置信的測量精度0.25μm,同級(jí)產(chǎn)品的較高水平。 密封調(diào)和器的高度控制 HDD用電機(jī)旋轉(zhuǎn)座的光盤播放檢查 信息更新: 2021年3月1日

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